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第 29 卷 第 8 期 纺 织 学 报 Vol. 29 No. 8
2008 年 8 月 Journal of Textile Research Aug. 2008
( )
文章编号 2008
纤维基 ZnOAgZnO 多层膜表面形貌的 AFM 观察
刘江峰 , 邓炳耀 , 高卫东
( ( ) )
生态纺织教育部重点实验室 江南大学 ,江苏 无锡 214122
摘 要 在室温状态下 ,采用磁控溅射法在 PET 纤维上制备了Ag 膜 、ZnO 膜和 ZnOAgZnO 多层膜 ,运用原子力显
( )
微镜 AFM 对纳米结构薄膜的表面形貌进行观察 ,并对导电特性进行测试 。结果表明 ,随着 Ag 膜厚度从 10 nm 增
加到 20 nm ,Ag 膜的致密性和均匀性变好 ;在纤维表面和 ZnO 膜表面生长相同厚度的Ag 膜 ,其表面形貌不同 ,在
ZnO 薄膜表面生长的Ag 膜比在纤维表面生长的Ag 膜均匀性好 ,Ag 颗粒更大 ,颗粒的匀整性也更好 ; 同样 ,在纤维
表面和 Ag 膜表面生长相同厚度的 ZnO 膜 ,其表面形貌也不同。多层膜的电阻随着 Ag 膜厚度的增加而减小 ; 当 Ag
膜为 20 nm 时 , 电阻达到最小 。 n
关键词 磁控溅射 ; 原子力显微镜 ; PET 纤维 ; ZnOAgZnO 多层膜 ; 电阻 c
中图分类号 :TS 1748 文献标识码 :A .
AFM observation on the surface morphology of
m
ZnOAgZnO multilayer films deposited on fiber substrates
o
LIU Jiangfeng , DENG Bingyao , GAO Weidong
c
.
( Key Laboratory of Eco Textiles (Jiangnan University) , Ministry of Education ,
Wuxi , Jiangsu 214122 , China)
m
Abstract The Ag films , ZnO films and ZnOAgZnO multilayer films deposited on PET fiber substrates were
p
prepared by magnetron sputtering at room temperature. The surface morphology of th
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