固体催化剂的研究方法第九章表面分析方法下.pdfVIP

石 　　油 　　化 　　工 2001 年第 30 卷第 6 期 　　　　　　　　　　　PETROCHEMICAL TECHNOLO GY　　　　　　　　　　　　　　　 4·91 · 讲 　座 固体催化剂的研究方法 第九章　表面分析方法( 下) 黄 　惠 　忠 (北京大学 化学与分子工程学院 ,北京 100871) 5 　离子散射谱( ISS) 5 2 　仪器及操作要点 表面原子的质量及结构可由离子散射谱测定 。按入射 52 1 　仪器结构 离子 的 能 量 大 小 , 可 分 为 低 能 ISS ( L EISS) 、中 能 ISS 　　低能离子散射谱仪比较简单 ,除激发源为离子枪外 ,其 ( ) ( ) 它如超高真空室 、能量分析器和检测器等均相 同于 XPS 、 MEISS 和高能 ISS HEISS ,或卢瑟福背散射 RBS 。在一 般表面分析实验室 , 常用 L EISS , 故本章只讲述这一方法 。 AES 、U PS 和 EEL S 谱仪 , 只不过此时能量分析和检测的是 不过应指出 ,L EISS 与 MEISS 、HEISS 之间存在着两个本质 正离子而不再是电子 ,见图 20 。该仪器要求一次离子束有 (Δ ) Δ ( ) ( ) 较好单色性 E/ E 7 % , 能量分析器的分辨率 E/ E ≤ 区别 : 1 L EISS 有较大 的离子 - 原子相互作用截面 ; 2 L EISS 中入射的惰性气体离子有较大的中和化几率 ,这就使 1 % 。由于 L EISS 对表面极敏感 ,所以必须有清洁表面的附 ( ) 得 L EISS 成为所有表面分析技术中表面最敏感的技术 ,取 件 加热 、氧化 、还原等 ,还可和 XPS 、AES 等联用 。 样深度仅为表面最顶层 的原子 。1967 年 , Smith 首次用 L EISS 技术检测最表层元素组成 。 5 1 　基本原理 已知质量 m 1 和能量 E0 的一次离子入射到样品表面 (靶原子质量 m 2 ) 后 ,在固定散射角处测量弹性散射后的一 ( ) 次离子的能量分布 E1 。此过程遵从两体刚性球的弹性碰 撞原理 ,见图 19 。 图20 　带静电能量分析器的低能离子散射谱仪结构原理图 图 19 　低能离子散射原理图 52 2 　操作要点 ( ) 　　依据能量和动量守恒定律 ,在碰撞前后 ,关系式 17 应