基于PLC的洁净厂房空气处理控制系统设计.pdfVIP

电子发烧友 电子技术论坛 基于 PLC 的洁净厂房空气处理控制系统设计 1 2 魏海波 王准 1，罗克韦尔自动化重庆分公司，重庆 400010 2，重庆横河川仪有限公司， 重庆 401121 摘要：本文介绍洁净室空气处理系统自动控制的设计和应用。概述了 MAH 的控制原理，详 细地阐述了洁净室露点和温度的控制，并简要地介绍了洁净室正压差控制和设备的群控原 则。最后给出了 PLC 在半导体洁净厂房控制系统的应用实例。 关键词：空气处理，露点，温度，工程实例 中图分类号：TP272 文献标识码：A The Design of Clean-room HVAC Control System Based-on PLC 1 2 Wei, Hai-Bo Wangzhun ( 1.Chongqing Branch of Rockwell Automation, Chongqing 400010,China 2.Chongqing Yokogawa Sichuan Instrument Co.,Ltd, Chongqing 401121,China) Abstract: This paper deals with the design and application of control of air conditioning systems. The author gives a brief account of MAH process flow. The control strategy of dew-point and temperature located in clean-room is discussed in detailed. The article briefly states differential-pressure control between clean-room and outdoor, the equipment’s group-control algorithm is also introduced. An example is given in the papers. Keyword: Air-handling; Dew-point; Temperature; Instance of Project 1 引言 目前中央空调系统的自动控制主要有DDC 和 PLC 两种方式，DDC 固化了专门的控制 策略，在办公大楼等民用领域使用较多。而 PLC 具有可靠性高、网络通讯灵活、控制功能 强、性价比高的特点，使得其在工业领域的环境控制如半导体洁净厂房的中央空调自控系统 中得到了广泛使用。 HVAC 的空气处理系统主要实现对洁净区域的露点、温度和正压差的严格控制，防止静 电损坏集成电路、空气中水分结露和粉尘对产品的污染,同时保持室内空气的新鲜度以使人 体舒适。因此系统采用了可以独立实现加热、制冷、除湿、再热和送风的功能全新风空调机 组 MAH ，以满足主要工艺参数指标和舒适性的要求。 根据相关的设计规范[1]和实际工艺的要求，洁净室的主要工艺参数分别控制在：室内温 度(22±2 ℃) ,室内露点(10±1.5℃),洁净室对室外大气的正压差(10Pa) 。 本文以某半导体芯片封装测试厂洁净室的空气处理系统的控制为例，着重讨论空气处理 控制系统的设计和 PLC 在其中的应用。 2 空气调节系统自动控制的设计 2.1 新风空调 MAH 控制原理 全新风空调 MAH 控制原理如图 1 所示，室外新风经过进口风阀和中效预虑网后，在冬 季模式