工业质谱仪的技术与应用(上).pdfVIP

1 工业质谱仪的技术与应用 (上) 王森 王森先生，中国仪器仪表学会分析仪器学会在线分析仪器专业委员会委员，仪表自控高级工 程师。 关键词：工业质谱仪 离子检测器 离子源 质量分析器 进样系统 工业质谱仪一般由检测系统、真空系统、 电学系统和数据处理系统几部分组成。其中， 检测系统由进样系统、离子源、质量分析器和 离子检测器组成。样品由进样系统导入离子 源，在离子源中被电离成正离子或负离子，离 子束按质荷比大小由质量分析器分开，被检测 系统接收并记录而获得质谱图。 真空系统提供和维持质谱仪正常工作所 需的高真空，通常在 10-3～10-9Pa；电学系统 为质谱仪的每一个部件提供电源和控制电路； 数据处理系统快速、高效地计算和处理质谱仪 获得的大量数据，并承担仪器控制的任务。 一 进样系统 工业质谱仪的进样系统常见的有以下两 种。 (1)多路进样阀系统 可装备 16、32、48 或 64 个取样点的多路进样阀，由气动马达或步进电机驱动样品流 的选择。 在任何时刻，只要选定一路气流，该气流就以 20ml/min 的流量，通过加热毛细管被送 到保持在 3×102Pa 压力的“T”形三通处，大部分样气通过减压毛细管被前级机械泵抽走，只 有很小一部分样气通过分子漏孔被送入离子源。该系统的响应时间小于 0.5s，这是靠使用 容积很小的阀及全部系统保持在 80℃而达到的，系统加热可使不易挥发的物质的响应时间 减至最小。进样系统的控制由机内处理器实现。 (2)电磁阀进样系统 这是采用电磁阀进行多流路切换的进样系统。系统内气体样品的流通回路和毛细管被加 热到 120℃，以保持样品的气化状态。绝大部分样品由前级机械泵抽走(返回到质谱仪外部 的样品管路中)，仅有很小一部分样品(约 2.5×10-4ml/s)通过分子漏孔进入质谱仪的离子源。 流路切换和进样过程由时间程序控制，每个流路进样气流的滞留时间约为 5s 。 二 电子轰击型离子源 离子源是质谱仪的主要组成部件之一，其作用是使被分析的物质电离成为离子，并将离 子汇聚成有一定能量和一定几何形状的离子束。由于被分析物质的多样性和分析要求的差 1 2 异，物质电离的方法和原理也各不相同。 利用具有一定能量的电子束使气态样品分子或原子电离的离子源称为电子轰击型离子 源。工业质谱仪的离子源都采用电子轰击型离子源。对离子源的要求除有高的灵敏度、高的 离子流稳定性外，还要求离子源具备高的抗污染能力。所以大都采用封闭离子源。一方面减 少真空本底对谱图的影响，也减少灯丝碳化效应的影响。为了延长使用时间都采用双灯丝结 构，如果发现一根灯丝已到使用寿命，可切换到另一根灯丝而不必马上停机。 常见的电子轰击型离子源如图 1 所示，采用钨(或铼、钽)丝作为直热式阴极，在高真空 条件下施加 Vc 电压，使阴极升温而发射电子；在电离室与阴极之间加电压Ve 的作用下， 1 2 电子得到加速，成为具有 10 ～10 eV 能量的慢电子；电子通过电离室到达阳极的过程中， 与存在于电离室中的被分析气体(或蒸汽)样品中的原子(分子)碰撞，或撞出原子(分子)中的电 子形成正离子，或被原子(分子)俘获而成为负离子；利用引出极、聚焦极、加速极与电离室 之间形成的静电场(场的分布与强度取决于电极的几何形状及 Vd 、Vf 、Va 等电压值)，将离 2 4 子引出电离室，并且聚焦成为具有 10 ～10 eV 能量的矩形(或圆形，取决于出口缝的形状) 截面的离子束。 一般情况下，生成的正离子是负离子的 103 倍。如果不特别指出，常规质谱只研究正离 子。轰击电子的能量至少应等于被测物质的电离电位，才能使被测物质电离生成正离子。元 素周期表中各元素的电离电位在(3～25)eV( 电子伏特)之间，其中绝大部分低于 15eV；如果 轰击电子能量正好等于被测物质的电离电