磷酸处理ITO基底对有机发光二极管性能的改善-磷酸处理I.pdfVIP

维普资讯 第 21卷 第 5期 液 晶 与 显 示 V01．21．NO．5 2006年 10月 ChineseJournalofLiquidCrystalsandDisplays 0ct．．2006 文章编号：1007—2780(2006)05—0451-05 磷酸处理 ITO基底对有机发光二极管性能的改善 翟 琳 ，仲 飞，刘彭义 (暨南大学 物理系 ，广东 广州 510632，E-mail：tlpy@jnu．edu．cn) 摘 要 ：用 1O 、15 、2O 3种浓度 (体积分数)的磷酸分别对 ITO玻璃进行处理，四探针 测试表 明其面 电阻基本不变 ，原子力显微镜观测到酸处理后 的 ITO表面形貌更加平坦 ，紫 外一可见光光谱显示 出磷酸处理几乎不影响可见光透过率 ；以之为基底制备 了典 型结构 (ITO／TPD ／AIq／AI)有机发光二极管 (0LEDs)，并对其光 电性能进行 了测试 ，结果表 明在经 过浓度为 15 的磷酸处理过 的 ITO玻璃上制备的OLEDs表现出最好 的光 电性能，其发光 最大亮度和发光效率分别是未经酸处理的ITO上器件 的近 2倍 。 关 键 词 ：OLED；表面处理 ；ITO；电致发光效率 中图分类号 ：TN873．3 文献标识码 ：A 够进一步去除 ITO膜表面 的有机污染物 ，增加 1 引 言 ITO薄膜表面与有机层的结合 ，增强 ITO的空穴 ITO(氧化铟锡)薄膜具有 良好 的导电性能和 注入能力，使 ITO表面功函数增加 。表面处理虽 较高的功函数 (约 4．7eV)，在可见光范围内(400~ 然不能改变材料内部的组成 ，却对 ITO表面组成 800nm)有很高 的透过率 (9095／) ]，而成为 有明显的影响。 OLEDs阳极 的首选材料 。而且 ITO薄膜坚 固、 对 ITO的处理主要是为 了提高其表面功函 耐碱 、耐高温 ，同时具有很好 的刻蚀性能，这有利 数 、导电能力和调节其表面粗糙度 ，表面特性直接 于对它的微细加工 ，将其刻蚀成不 同电极 图案，制 影响器件 的寿命、开启 电压、发光效率、亮度和稳 备各种实 际需要 的 OLEDs点阵或 图形 。对 定性 ，对 ITO的表面处理可分为物理方法 (热处 OLEDs性能有直接影响的一个重要 因素是载流 理 、氧等离子体处理、惰性气体溅射清洁、紫外线 子从 电极向有机层的注入率 ，这一注入机理发生 照射等)和化学方法 (酸、碱处理)[3-a6]。 在电极和有机材料之 间，所 以作为 OLEDs阳极 我们采用磷酸 (H。PO)对 ITO进行了处理 ， 的ITO透明导电玻璃 ，其特性及表面处理方法对 这里选用磷酸是因为磷酸为不易挥发的强氧化性 其与有机膜的接触面及制备成的OLEDs性能都 酸，且 ITO对磷酸的敏感度低 ，便于控制反应和 会产生很大的影响。 处理。对磷酸处理前后 的ITO玻璃，观测 了它的 采用不 同的处理方法和清洗手段会影 响 面电阻、表面形貌的变化和光透过率 ，并用其作为 ITO玻璃的性能，表面处理将改变 ITO材料表面 阳极制备 了有机发光二极管，研 究 了磷酸处理 的化学成分、组织结构及表面形态，从而影响材料 ITO对 OLEDs光电性能的影响。 的表面能，造成表面张力、表面吸附及表面极性的 2 实 验 改变，进而改变表面与周 围环境或吸附层的作用。 制作 OLED时，首先要对 ITO玻璃进行清洗 ，常