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文章编号：1001-5051(2013)01-0060-05
PbTe薄膜磁控溅射生长及其微结构研究
斯剑霄1’2， 陈 理1， 何兴伟1
(1．浙江师范大学数理与信息工程学院，浙江金华321004；2．浙江大学硅材料国家重点实验室，浙江
杭州310027)
溅射生长的PbTe／BaF：(111)薄膜表面由规则金字塔形岛和三角形坑组成的纳米颗粒构成，且薄膜沿111
取向择优生长，其晶粒大小与表面纳米颗粒大小接近．室温下傅里叶红外透射谱及其理论模拟表明溅射生长
的PbTe薄膜光学吸收带隙(E。：0．351eV)出现蓝移，与PbTe纳米晶粒的尺寸效应有关．
关键词：PbTe薄膜；形貌特征；透射光谱：禁带宽度
中图分类号：TN304 文献标识码：A
Growthandmicrostructuralof
properties
PbTethinfilm
bymagnetronsputtering
SI CHEN
Jianxia01…t Lil，HEXingweil
and Normal
(1．CollegeofMathematics，PhysicsInformationEngineedng-ZhejiangUniversity，JinhuaZhejiang321004．China；2．StateKey
Lab
ofSilicon 310027。China)
Materials。ZhejiangUnivemity，HangzhouZhejiang
thinfilmswere on 1 microstruc-
Abstract：PbTe producedbymagnetronsputteringBaF2(11)substrates．The
turaland ofPbTethinfilmswerecharacterizedatomicforce
opticalproperties by
Fouriertransforminfrared wasfoundthatthe with
diffraction(XRD)and spectroscopy(FrIR)．Itnanocrystals
and wereformedonthesurfacesand in 1 orientation．Theaver-
the(1
trigonalpyramidspits grew 1)preferred
sizesobtainedfromtheAFM wereconsistentwiththatmeasuredfromtheXRD．二rhe
agenanocrystal images
andtheoreticalstudiesoftheFrIRatroom showedtheband 1
experimental temperature gap
energy(Eg=0．35
thePbTefilmhadablueshiftduetothe sizeeffect．
eV)of grain
Keywords：PbTe transmission
film；morphology；infraredspectra；Bandg
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