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《现代电子技术》2007 年第 7 期总第 246 期 测试 ·测量 ·自动化
一维 PSD 器件及其在测量中的应用
于丽霞 ,王福明
( 中北大学 现代教育技术与信息中心 山西 太原 03005 1)
摘 要 :PSD 是一种新型位置传感器 。介绍了 PSD 器件的检测原理 ,并以理论推导的方式给出了其等效电路及光点坐
标位置与输出电流的函数表达式 。重点讨论了 P SD 器件在位移测测试和大型回转构件空间角度测试中的应用 ,分析结果表
明该器件具有接口简单 、测试精度高 ,不受光束和焦点偏离的影响等优点 ,可广泛应用于精密测试领域当中。
( )
关键词 :光电位置敏感器件 PSD ;等效电路 ;位移测试 ;空间角度测量
( )
中图分类号 : TP2 12 14 文献标识码 :B 文章编号 :1004 373X 2007 07 143 02
One Dimension PSD and Appl ications to Precision Measurement
YU Lixia ,WAN G Fuming
(Mo dern Education Technolo gy Info rmation Cent er ,No rt h U niver sity of China , Taiyuan ,03005 1 ,China)
Ab stract :PSD i s a new kind of po sition sen sor s. In t hi s p ap er ,t he p rincip le of P SD i s int ro duced . The equivalent circuit s
and conver sion formula are derived t heoretically . We di scu ss det ailedly t he application s of P SD to di st ance mea surement and
sp ace angle mea surement . The analysi s result s suggest t hat t he P SD have some advant ages such as simp le int erface ,high t est
p reci sion ,not influenced by indep endence of beam and spot focu s deviation ,which can be u sed in p reci se mea surement widely .
Keywords :Po sition Sen sitive Det ector s ( PSD) ;equivalent circuit s ;di st ance measurement ; sp ace angle mea surement
PSD ( Position Sensitive Detector s) 器件是 自本世纪 70 信号电极上接上负载电阻, 光电流将分别流向两个信号电
年代研制成功的一种新型位置传感器 , 由于该器件具有体
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