基于复色共焦的透明材料厚度测量系统研究.pdfVIP

第36卷第5期 长春理工大学学报 （自然科学版） Vol.36 No.5 2013年10月 Journal of Changchun University of Science and Technology （Natural Science Edition ） Oct.2013 基于复色共焦的透明材料厚度测量系统研究 张宁，徐熙平，吴嘉辉，刘宇龙，李磊 （长春理工大学 光电工程学院，长春 130022） 摘 要：研究了基于复色共焦技术的透明材料厚度测量系统。对透明材料厚度复色共焦测量的原理进行了分析，建立了厚 度测量模型，设计了实施方案，完成了各分系统的设计与调试。在实验样机平台上进行了一系列数据的测量。结果表明， 所设计的复色共焦透明材料厚度检测系统的测量范围在1~20mm以内，精度在±0.005mm，测量速度在每秒2000次以上， 实验表明该系统满足设计要求，可以实现透明材料快速在线高精度的检测。 关键词：复色共焦技术；透明材料；厚度检测；线阵CCD 中图分类号： TH274.5 文献标识码：A 文章编号：1672-9870 （2013）05-0001-06 Research on the Measurement System of Transparent Material ’s Thickness Based on Polychromatic Confocal Technology ZHANGNing，XUXiping，WUJiahui，LIUYulong，LILei （SchoolofOpto-Electronicsengineering，ChangchunUniversityofScienceandTechnology，Changchun130022） Abstract：In this paper，the thickness measurement system of transparent material based on polychromatic confocal tech- niques is studied. The principle of the system is analysed;the measurement model is established;the application plan is designed;the desigations and the debugging of per subsystem are accomplished. Besides，a series of measurements are carried out in the experimental prototype platform. The results show that the measuring range of the this system is 1mm to 20mm，the measuring accuracy is±0.005mm and the measuring speed is beyond 2000 times per second，which illustrate that the thickness measurement system of transparent material meet the design requirements and it can achieve the online measurement quickly and accurately. Keywords：polychromatic confocal technology；transparent material；thickness measurement；linear CCD 复色共焦技术具有多表面层析的特点，以其高 角度综合考虑，研究的主要技术指标初步确定如下： 质量的尺寸测量性能成为当前光学、光电检测领域 测量范围：1~20mm 最新的研究内容之一［1］。本文是针对平板玻璃生 测量精度：±0.005mm 产、光学零件加工等透明材料相关行业对厚度检测