力平衡式微加速度计系统特性研究.pdfVIP

第36卷增刊 福州大学学报(自然科学版) V01．36 Supp． 塑!生2旦 』竺里型垡!：坚坚坚望型翌翌亚l壁呈垒型皇i!竺12 墅P：2QQ墨 力平衡式微加速度计系统特性研究 张扬，曲延滨 (哈尔滨工业大学(威海)信息科学与工程学院，山东威海264209) 摘要：力平衡式微机速度计是目前硅微速度计领域研究的热点，文章介绍了力平衡式加速度计的闭环检测原 理，通过对反馈方式、偏置电压极性等对加速度计性能影响的定性分析，阐述了不同情况下提高加速度计性能 所应采取的措施． 关键词：力平衡；微加速度计；偏置电压极性 中图分类号：TP212．1 文献标识码：A on Characteristicsresearchforcebalancedmicro——accelerometer system ZHANG Yan—bin Yang．Qu ofInformationScienceand Instituteof at 264209，China) (College Engineering，HarbinTechnologyWeihai，Weihai，Shandong Abstract：Forcebalancedmicro—accelerometeristhe inthefieldofsihconmicro—accelera- hotspot this forforce—balance tiontranschlcers．In ofthe detection paper，the closed—loopsystems principle micro—accelerometeriS factorssuchasfeedbackmodeandbias which voltage presented．The polarity affectthe ofmicro—accelerometerare to the performance perform- qualitativeanalysis．Howimprove anceofmicro—accelerometerisalsodescribed． Keywords：forcebalanced；micro—accelerometer；biasvoltagepolarity 电容式微加速度计具有精度高、噪声特性好、漂移低、温度敏感性小、功耗低、结构简单等优点，在 航空航天、导航制导、汽车安全等领域得到了广泛应用¨-21．按照控制系统中有无反馈，电容式加速度传 感器可分为开环式和闭环式．开环式加速度计又称为简单加速度计或非力平衡式加速度计，其结构简单、 体积小、成本低，但它的线性度、量程、稳定性都比较差．随着技术的发展，利用反