具有初始构型的MEMS驱动器的跳跃和吸合现象研究.pdfVIP

第34卷第2期 固体力学学报 V01．34NO．2 CHINESE OFSOLIDMECHANICS JOURNAL 2013 2013年4月 April 具有初始构型的MEMS驱动器的跳跃 和吸合现象研究+ 胡育佳r。 朱媛媛2 程昌钧3 (1上海理工大学机械工程学院，上海，200093)(2上海师范大学计算机科学与技术系，上海，200234) (3上海大学上海市应用数学和力学研究所，上海，200072) 摘要在曲梁变形后以弧长为参数的自然坐标系中，利用曲梁大变形分析理论，建立了具有任意初始构型 的微电驱动器大变形电动力学分析的数学模型，并采用微分求积法(DQM)进行空间离散，得到了一组具有强非线 性的微分一代数系统方程，运用Petzold—GearBDF方法进行时间域内的求解．研究了MEMS驱动器在电场力作用下 的瞬态动力学特性，包括跳跃(snap—through)和吸合(pull—in)现象，并与已有实验结果进行了比较． 关键词微电力学特性，大变形，曲梁，跳跃，吸合 下，对于长细比较大的微梁结构，采用线性理论代替 0 引言 非线性理论来分析这类问题将会导致不可预期的错 误，也不能解释一些由于几何非线性引起的独特实 验现象，例如失稳模式跃迁等口j．近年来，许多学者 电驱动微电子机械系统(MEMS)在微电驱动 器、微传感器、微压力感应器、微泵系统等领域具有 开始采用非线性理论来分析这类MEMS器件的电 广泛的应用．一类典型的微电驱动器的物理模型如 静力学和电动力学特性，Li和Aluru[71在特定的条 图1所示，这种微器件设备一般由两个导电电极组 件下研究了线性理论的适用范围．Nayfeh等∽J，Das 成，其中一个是固定的，另一个是可移动的，在一定 和Batra[91采用数值计算方法研究了受电载荷作用 情况下可移动部分可用一个微梁结构来模拟．当电 的微梁结构大变形静、动力学特性和吸合电压并与 极受到电压作用时，在库伦力的作用下，可移动电极 实验结果有很好的吻合．Xie等口叫采用伽辽金法和 将向固定电极移动．当电压超过某一临界值时，移动 不变流形相结合的方法研究了两端固定的微驱动器 电极将发生不稳定——突然垮塌并与固定电极接 的非线性动力学特性；De和Aluru[1¨采用全拉格朗 触．这时的临界电压通常被称为吸合电压(pull—in日格式结合牛顿迭代方法得到了悬臂和两端固定的 voltage)．在大多数情况下，这种内在的不稳定性大微电驱动器的频率响应特征以及吸合电压、吸合时 大限制了微器件的稳定工作范围，因此在应用中为 使器件性能更好的发挥作用，应该避免吸合现象的 梁的吸合电压时，考虑几何非线性的影响是相当重 发生．微电驱动器的吸合(pull—in)现象是由要的，特别是在吸合电压附近．同时，考虑尺度效应 Nathanson等u 3和Taylor[21在实验中发现的．在随的影响也是这类驱动器的研究内容之一，王炳雷 后的几十年里很多学者对这种现象进行了理论分 等[1胡和LiYin等[141分别采用弹性梯度理论和修正 析、实验研究和数值模拟．Pamidighantam等口1和的偶应力理论研究了尺度效应对直梁驱动器静力学 Hu等口]，Sadeghian等[13基于小变形的直梁理论研吸合电压的影响． 究了不同边界条件下微电梁的静、动力学