原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第29卷第10期 光 学 学 报 V01．29，No．10
OPTICASINICA October。2009
2009年10月 ACTA
文章编号：0253—2239(2009)10—2813—05
单色仪转角重复精度的相位板衍射准直方法测量
巩志华 陈 敏 王 勇 严 睿 邰仁忠
(中国科学院上海应用物理研究所，上海201800)
摘要 为准确测量．h海光源软X射线谱学显微光束线采用的变包含角平面光栅单色仪的转角重复精度，提出了一
种新的基于相位板衍射准直技术的测萤方法。该方法将半导体激光单模光纤和相位板衍射准直技术结合起来，利
用面阵CCD采集图像，通过测量光斑的位移变化确定平面镜和光栅的角度变化。实验表明。该方法可以测量掠入
射情况下单色仪联动时的转角重复精度，测量精度可达士0．1”，此测量精度优于同等实验条件下的商用
El。COMAT3000自准直仪的测量精度。
关键词测量；相佗板；衍射准直；平面光栅单色仪
中图分类号TN741．1+4文献标识码A doi：10．3788／AO2813
MeasurementofMonochromator7S Phase
AngleRepeatabilityby
PlateDiffractionCollimationMethod
ZhihuaChenMin YanRuiTai
Gong WangYong Renzhong
Radiation Institute
(ShanghaiSynchrotronFacility，ShanghaiofAppliedPhysics，
Chinese 201800，China)
AcademyofSciences．Shanghai
to ofthe
AbstractInordermeasurethemechanicalrepeatabilityvariable—included-angleplane—grating-
angle
monochromatorusedinsoft beamlineat Radiation new
X-rayspectro·microscopyShanghaiSynchrotronFacility·a
was basedonthe diffractioncollimation．Thiswas laserdiode
method phase systemdesignedcombining
proposed plate
2-dimensionCCDwas tocollectthe
fiherwith diffractioncollimation images，which
phaseplate technique．A adopted
wasusedtomeasurethe ofthe thusthe ofthe mirrorandthe
文档评论（0）