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第 36卷 第 11期 中 国 激 光 Vo1．36，No．11
2009年 11月 CHINESEJOURNALOFLASERS November，2009
文章编号：0258—7025(2009)1卜2869—04
一 种新型聚合物微透镜阵列的制造技术
王 伟 周常河
(中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室，上海 201800；。中国科学院研究生院，北京 100039)
摘要 提出了一种利用软模压印制备微透镜阵列的技术。采用传统的光刻胶热熔方法制备微透镜阵列母板 ，利用
复制模具的方法在 聚二 甲基硅氧烷 (PDMS)上得到一个和母板表面图形相反 的模具，最后通过压 印的方法把
PDMS模具上 的图形转移到涂有紫外固化胶的玻璃基片上 ，待紫外胶完全 固化后可得到和母板一致 的微透镜阵
列 。经过测试微透镜阵列的焦点图像和表面形貌可发现最后制备的微透镜阵列表面形貌均匀、聚焦性能 良好、光
强均匀 。
关键词 光学制造 ；微透镜 阵列 ；光刻胶热熔法 ；软刻蚀 ；压印技术
中图分类号 0435；TN205 文献标识码 A doi：10．3788／CJL2o093611．2869
New TechnologyforFabrication ofPolymerM icrolensArrays
WangWei’ ZhouChanghe
LaboratoryforInformationOptics，ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics，ChineseAcademy
o{Sciences，Shanghai201800，China
GraduateUniversityof ChineseAcademyofSciences，Bering100039，China
Abstract Amethodforfabrication ofmicrolens arrays using softlithography isreported． The master ofthe
microlensarray isfabricatedbytraditionalthermalreflow technology．Themicrolensarrayisfirsttransferredonan
elastomericmoldusingreplicamoldingmethod，andthentheelastomericmoldwithmicrolensstructureonitssurface
isimprinted on the glasssubstrate with ultraviolet (UV) curablepolymeron it．M ter the UV glue wasfully
solidified，thefinalmicrolensarrayisformedontheUV curablepolymerofglasssubstrate．Themicrolensarrayis
testedand itisfound thatithasuniform focusing function．Thistechnology hasgreatpotentialapplication for
fabricationofpolymermicrolensarraywith low costandhigh throughput．
Keywords opticalfabrication；microlensarray；thermalreflow ；softlithography；imprinttechnology
l 引 言 要花费较长的时间并且难以精确控制微透镜 的形状
微透镜阵列是一系列 口径在几个微米到几百个 和
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