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《半导体光电 年月第 卷第 期 李俊慧等: 低驱动电压 切铌酸锂长周期波导光栅 低驱动电压 切铌酸锂长周期波导光栅 李俊慧,陈开鑫 电子科技大学 通信与信息 程学院。成都 摘 要: 研究了在 切铌酸锂基底上制作沿 方向传输光的电光长周期波导光栅的理论模 型。利用有效折射率法和射线法进行理论分析获取波导的各项参数。针对所建议的波导光栅结 构,将调谐电极置于波导两侧,无需跨过波导就可获得最大的电光调制。该结构的电极间距小 小 于 ,使得在较小的驱动电压 . 下就可以实现阻带幅度高达的长周期波导光栅。 对该光栅模型的研究为开发低驱动电压的高速电光长周期光栅提供了理论依据。 关键词: 电光效应;铌酸锂;长周期波导光栅 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ?? ?? ,, , , :? ? ? ? . ., . 。 , ..??. : ?, ,? 采用电光聚合物材料制作的可调谐长周期波导光栅 引言 已经被证实 。然而,电光聚合物材料还存在性能 当前,长周期波导光栅已经在聚合物、玻璃、半 不稳定,且易退极化等问题。铌酸锂作为目前最成 导体等多种材料制作的各种结构的光波导上实 熟的电光材料,具有大的电光系数及成熟的光波导 现。 ,基于这些材料的长周期光栅可以很方便地实 制造工艺,被广泛用于制作各种高速电光调制器。 现热调谐,从而制作成各种利用热光效应的器件,如 利用铌酸锂制作的长周期波导光栅具有十分诱人的 可调谐光滤波器 、光耦合器 、光衰减器口 等。这 应用前景,相应的研究工作也已有报道 ,并且已 些器件可调谐范围大,灵敏度高,但由于利用热光效 经初步实现了电光调谐的特性 。以上报道的长周 应,因此调谐速度慢。 期波导光栅都是采用 切铌酸锂晶片并沿 方向 为实现高速调谐,利用电光效应是最佳的选择。 传输光的结构设计。其中所报道的电光调谐铌酸锂 收稿日期: ? ? . 长周期波导光栅,其调谐电极制作于波导上方,并与 基金项目:国防预研基金项目. 光传输方向垂直 。这样的设计使得电极的间距与. . 光栅的周期相关,考虑到光栅具有较长的周期,因此 都得以简化,有利于设计精度的提高 最后,由于目 需要施加较高的电压才可以获得足够的电场以产生 前部分铌酸锂器件,如用于光纤陀螺的单 相位调 制器,已经采用了 切 方向传输光的结构,因此 明显的折射率调制,从而实现长周期光栅。为了克 服以上缺点,本文研究采用 切的铌酸锂晶片并安 该结构安排可以方便地将长周期波导光栅和其他铌 酸锂器件集成以实现更多的功能。综上所述,这一 排光波导沿 方向传输光的结构来设计制作电光 调谐的长周期波导光栅。 研究对于探索并优化电光调谐的铌酸锂长周期波导 光栅的性能,推动其进一步迈向实用并拓展其应用 器件结构 领域有着重要的意义。 图 示意了所研究的在 切铌酸锂基底上制 铌酸锂晶体的波导结构及其制备方 作的沿 方向传输光的电光长周期波导光栅的基 法 本结构。它包括采用质子交换方式制作的铌酸锂光 波导及位于波导两侧的梳状电极结构。两梳状电极 长周期波导光栅的工作原理是芯层基模与包层 的梳齿在垂直于波导方向 向 以间隔 两两正 各阶模的耦合,因此包层结构对于长周期波导光栅 对,而沿波导方向以周期 均匀排列。当两梳状电 是必需的。由于铌酸锂波导芯层与基底的折射率差 极上施加一定电压后,这些正对的梳齿间铌酸锂将 很小,而包层的折射率需要小于芯层折射率而高于 因电光效应而产生折射率调制。由于梳齿电极的周 基底的折射率,为了克服材料折射率相匹配这个难 期性,因此产生的折射率也是周期性的。如果选择 题,有文献提出两次退火质子交换法来制作带包 适当的周期以,就可以实现由电光效应产生的铌酸 层的铌酸锂波导。具体工艺如下:首先对整个铌酸 锂长周期波导光栅,而且这样的光栅的阻带幅值是 锂基片进行退火质子交换形成平板波导作为包层, 可以由 ; 电压来调谐的。 然后在这一平板波导上沉积一定厚度的阻挡层 如铬 铌酸锂光波导 或 ,并通过光刻制作一定宽度的缝作为二次质 子交换的条形窗口,并进行第二次交换,形成芯层结 电极 构,之后再进行一次退火,得到带包层的四层渐变折 射率铌酸锂波导。其横截面及折射率谱如图 所示。 铌酸锂基底 图 长周期波导光栅的结构 波导横截面图 该光栅结构具有以下优点:首先,调谐电极置于 波导两侧而无需跨过波导就能利用到铌酸锂最大的 电光系数分量 。,从而避免了将电极制作于波导上 方时对波导中传输光波的影响,使得缓冲层的制作 也不再是必须的,从而降低了工艺的难度。其次,这 样的结构使得电极的间距只需稍微大于波导宽度即 可,而由于波导的宽度一般不超过 ,因此无需 较高的电压就可以达到产生长周期光栅所需的折射 率调制。最后,这样的结构使得