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光 电 子 ?激 光 第 17 卷 第 9 期 2006 年 9 月 Vol. 17 No. 9 Sep. 2006 J our nal of Optoelect ronics ?L aser 3 混合熔盐离子交换玻璃光波导的制备与特性研究 3 3 韩秀友 , 庞拂飞 , 初凤红 , 蔡海文 , 瞿荣辉 , 方祖捷 中国科学院上海光学精密机械研究所 信息光学实验室 ,上海 201800 摘要 :采用 AgNO 和 KNO 的混和熔盐作为离子源 ,系统地研究了 K 9 玻璃离子交换过程中熔盐配比、 3 3 交换时间和交换温度等工艺参数对波导性能的影响 ,得到离子交换玻璃波导折射率分布符合高斯函数 形式 ,建立了波导特性与离子交换工艺参数间的联系。测试得到离子交换平板波导的传输损耗为 0. 45 dB/ cm ,并利用离子交换技术在 K 9 玻璃上制备了一种跑道形谐振腔滤波器 ,实现了滤波效应。 关键词 :光波导 ; 离子交换 ; 棱镜耦合技术 ; 反 W KB 法 ; 波导谐振腔 中图分类号 : TN252 文献标识码 :A 文章编号 :100520086 2006 0921052205 Characterization and Fabrication of Ion2exchanged Glass Waveguides with Mixed Melt Salt 3 3 HAN Xiu2you , PAN G Fu2fei , CHU Feng2hong , CA I Hai2wen , QU Rong2hui , FAN G Zu2jie Lab. of Information Optics ,Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics ,Chinese Academy of Sci2 ences ,Shanghai 201800 ,China Abstract :With the mixed melt salt of AgNO and KNO used as the ion source ,the influ2 3 3 ences of technological parameters ,including melting salt ratio ,exchange time and temper2 ature ,on the characteristics of the ion2exchanged K 9 gla ss waveguide ,were investigated systematically. The index profile of the waveguide was found to accord with the Gauss function ,and the relationship between the waveguide performance and proce ss parameters was established. The transmission lo ss of the ion2exchanged planar waveguide was meas2 ured to be 0. 45 dB/ cm. A racetrack resonator filter was fabricated by ion2exchange in K 9 glass and its filter effect wa s realized. Key words :optical waveguide ; ion2exchange ; prism coupling technique ; inverse WKB method ; waveguide re sonator 子源在 K 9 光学玻璃上制备光波导的研究已有报 1 引 言 [5 ,6 ] 道 ,对于采用 AgNO3 作为离子源在 K 9 玻璃上 光波导的离子交换技术制作工艺简单、 易操作和 制备光波导的研究还未见到详细的报道。 + 成本低 ,制备的玻璃波导传输损耗低、 折射率及模场 AgNO 中的 Ag 在较低的温度下 220~300 3 + 分布与光纤匹配良好、 便于集成 ,在光通信、 光传感器 ℃ 就可以与玻璃中的 Na 进行交换 ,但是采用纯 + 等需要对光信号处理和控制的领域有着广阔的应用 AgNO3 熔盐为离子源时 ,由于 Ag 的极化率较高 , [ 1~4 ] 前景 。 在很短的时间内就可以形成较大的折射率改变量 ,要 [7 ] 国产 K 9 光学玻璃的折射率分布均匀、 气泡和杂 对折射率改变量进行控制则需要严格的工艺条件 。 质含量少、