微等离子体氧化法TiO2、TiO2(W)薄膜的制备及性能.pdfVIP

高玉周 等：微等离子体氧化法TiO 、TiO (W)薄膜的制备及性能 3175 2 2 微等离子体氧化法TiO 、TiO (W)薄膜的制备及性能 2 2 高玉周，张世锋，王 亮，严 立1 (大连海事大学 材料及工艺研究所，辽宁 大连 1 106026) 摘 要：利用微等离子体氧化方法，在纯Ti金属表面 金属微等离子体氧化膜以金红石TiO2 结构为主和少 制备TiO 量的锐钛TiO [3] 、TiO (W)薄膜，并用X射线衍射(XRD) 、扫 结构 ，单一锐钛矿TiO 结构及过渡金 2 2 2 2 描电镜(SEM)初步研究了薄膜的组织结构和表面形 属离子的掺杂的研究还未见报道。本文通过改变薄膜 貌。在不同的条件下，得到三种不同类型结构组成的 的制备条件，研究获得不同相结构的TiO2氧化膜层， 薄膜：单一TiO 的锐钛型结构、单一TiO 金红石结构 实现过渡金属离子的掺杂，研究不同相结构的形成原 2 2 及TiO2(W)薄膜；同时对薄膜的催化特性进行了初步 因，为进一步在促进TiO2膜层催化性能等方面的应用 的研究。 提供试验基础。 关键词：锐钛型；金红石；微等离子体氧化；薄膜 2 实验方法及材料 中图分类号：TG174 .444 文献标识码：A 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊-3175-03 2.1 薄膜制备 1 引 言 试验在自己设计制造的微弧氧化设备上完成。它 由三部分组成：电源、微弧氧化槽及冷却搅拌系统。 自70 年代初发现TiO 电极具有光照下分解水的 电源采用直流脉冲电源。氧化糟内配制不同的电解质 2 功能以来，有关TiO2 光催化剂的制备及其有机物降 溶液。由于微弧氧化过程中产生大量的热量，需要将 解、污水处理、杀菌的研究成为材料、物理、化学、 溶液冷却，并不断搅拌溶液，以便把氧化过程中产生 环保领域的一个研究热点[1] 。对于催化作用而言，一 的氢气和氧气带走。控制电解质溶液的工作温度为 般为TiO2锐钛型结构，采用过渡金属离子的掺杂，改 40~50 ℃。氧化时间为1h。 善TiO 的催化活性。这些研究大多是在TiO 悬浮体系 材料为纯Ti ，相结构测试试样尺寸为 20 ×20 × 2 2 中进行的，即使用TiO 粉末状光催化剂。然而粉末状 0.5mm 。采用三种不同溶液：酸性溶液(20gNaH PO + 2 2 4 光催化剂在使用过程中存在分离与回收的问题，实际 5mlH PO )/L 、碱性溶液(20g