晶体硅太阳能电池激光精细加工技术研究.pdfVIP

第 31卷第 6期 应 用 激 光 Vo1．31，No．6 2011年 12月 APPlED LAsER Deeember2011 晶体硅太阳能电池激光精细加工技术研究 潘涌 ，一， 姜兆华 ，一， 骆公序 ．一， 王国庆 ，一， 安博言 ，z (上海市激光技术研究所，上海 200233； 。上海市激光束精细加工重点实验室，上海 200233) 摘要 为提高晶体硅太阳能电池的转换效率，采用532nm与355nm纳秒激光器及 10．6Ixm射频二氧化碳激光器对晶体硅太 阳能电池的绒面制作、边缘隔离工艺以及 电池前电极激光制作进行了实验研究，获得了相关的工艺参数。 关键词 晶体硅太阳能电池； 激光精细加工； 绒面； 边缘隔离； 前电极 中图分类号：TN249；TM914．4+1 文献标识码：A doi：10．3788／A0469 LaserM icro-ProcessingTechnologyonCrystallineSolarCell PanYong。， JiangZhaohua。， LuoGongxu。， WangGuoqing。， Anboyna 。 (ShanghaiInstituteofLaserTechnology，Shanghai200233，China； 。ShnaghaiKeyLabofLaserBeamMicro—Processing，Shnaghai200233，China) Abstract Toimprovethecrystallinesiliconsolarcellconversionefficiency，theuseof532nm and355nm nanosecondlaserand radiofrequencycarbondioxidelaser10．6 Ixm crystallinesiliconsolarcellsontheproductionofLasertexturing，hteedgeisolation processandthelaser-producedthebattery frontelectrodeswereexperimentallyinvestigatedtoobtaintherelevantprocessparameters． Keywords crystallinesolarcell； lasermirco—processing； lasertexturing； edgeisolation； frontelectrodes 0 引言 电池生产 中的应用，主要有表面绒化、微结构成型 多年来，国际上一些发达国家高度关注新能源 及微打孔、边缘去除等工艺加工 。 产业发展趋势，并加大政府投入、积极推进它的发 1 工业化生产晶体硅太阳能电池工艺 展。太阳能是未来替代石化能源 的主要清洁可再生 目前除了Sunpower、Sanyo等公司具有 自主开 新能源之一。人们从各个应用领域对太阳电池进行 发的特殊结构电池外，绝大部分晶体硅太阳能电池 研究，其 中主要研究方 向是提高太阳电池的光 电转 结构类似，采用了大致相同的生产工艺流程 E53：切 换效率和降低成本 Ⅱ。引。目前晶体硅片厚度越来越 片一清洗一制备绒面一磷扩散一边缘隔离一去除 薄，因此更加易碎，这个趋势推动了非接触处理技 背面PN结一制作减反射膜一制作上下电极一烧 术的发展，以此保持低破片率和高 良率。激光精细 结一测试分档 。 加工以其非接触能量注入、灵活的光束引导、精密 其中，绒面制备采用低浓度碱液对单晶硅进行 的能量输出等特性，与传统技术相比具有加工速度 各 向异性腐蚀形成金字塔结构的绒面，