电导法研究紫外光预辐照对核孔膜径迹蚀刻的影响.pdfVIP

第28 卷 第9 期 核 技 术 Vol. 28, No.9 2005 年9 月 NUCLEAR TECHNIQUES September 2005 电导法研究紫外光预辐照对核孔膜 径迹蚀刻的影响 1, 2 1 3 1 1 1 1 段敬来 刘 杰 朱智勇 王志光 孙友梅 侯明东 金运范 1, 2 1 1, 2 1,2 姚会军 宋 银 赵志明 姚存峰 1 （中国科学院近代物理研究所 兰州 730000 ） 2 （中国科学院研究生院 北京 100049 ） 3 （中国科学院上海应用物理研究所 上海 201800 ） 摘要 利用紫外光辐照聚碳酸酯（PC ）离子径迹膜，研究光辐照对于核孔膜蚀刻过程的影响。实验结果显示， 紫外光照射对核孔膜的蚀刻有着重要的作用，它可以有效地增加径迹的蚀刻速率，并且径迹蚀刻速率随紫外 光照时间的增加呈线性增长关系，此现象是由于光降解作用引起的。本文还介绍了用于监测核孔膜蚀刻过程 的电导测量方法，利用此方法可以得出核孔膜径迹蚀刻速率、孔径随蚀刻时间变化等关系。 关键词 核孔膜，聚碳酸酯，紫外辐照，电导法 中图分类号 TL99 ，TQ028.8 高能重离子辐照高分子薄膜后，在材料中沿入 次对四片堆叠的样品同时进行照射，辐照剂量选择 8 9 –2 射离子路径上将形成直径约 10 nm 的柱状损伤区 在1×10 到3 ×10 cm 之间。本实验所用的PC 膜 域，这些损伤区域被称作为离子的潜径迹，潜径迹 经过辐照以后，已在室温和空气下保存了3 个月左 在经过一定的物理化学处理后就会消除并转换成中 右的时间。 空的通道（孔），这就是核孔膜。核孔膜凭借其良好 1.2 紫外光敏化 的性能，无论是在科技领域还是在人们的生产生活 中都有着广泛的用途，它是加速器技术的一个很重 为了研究紫外光对径迹蚀刻速率以及对整个蚀 [1] 要的应用领域 。 刻过程的影响，样品在蚀刻之前经过不同时间的紫 化学蚀刻技术在生产核孔膜的过程中起着重要 2 。为了 外光辐照，紫外光的能量密度为16 mW/cm 的作用。研究结果表明，孔的结构例如尺寸和形状 避免样品上产生热效应，在膜的上方用蒸馏水过滤 等不但受材料的特性、重离子辐照和化学蚀刻条件 以减弱光的强度。紫外光照采用CHG-200 型紫外集 的影响，而且很大程度上受蚀刻前预处理方法的影 光照射装置（奥博迪光电技术有限公司，北京），该 响[2] ，例如紫外光辐照。本工作就是利用电导法研 装置光源为球形高压汞灯。 究紫外光照射对核孔膜蚀刻过程的影响。 1.3 化学蚀刻 1 实验部分 经过重离子辐照和紫外光敏化的样品随后在一 1.1 快重离子辐照