硒化氢的性质及制备方法.pdfVIP

第30卷第6期 低 温 与特 气 VoL30，No．6 2012年 12月 Low TemperatureandSpecialtyGases Dec．，2012 · 特 气制备 · 硒化氢的性质及制备方法 夏山林 ，保 松 ，孙基成，苗 兴 (中吴光明化工研究设计院有限公司，辽宁大连 甘北路 34号 116031) 摘要：硒化氢可用于集成电路制造过程中的原材料、掺杂气体和还原气。由硒化氢直接与锌合成的硒化锌是重 要的红外光学材料之一，是高功率 CO：激光器系统中光学器件的首选材料。介绍了硒化氢的几种制备方法并对 每种方法做了评价。 关键词：硒化氢；硒化锌；硒化铝；制备 中图分类号：TQll7 文献标志码：A 文章编号：1007-7804(2012)06-0033-03 doi：10．3969／j．issn．1007-7840．2012．06．009 PreparationM ethodsAndPropertiesofHydrogenSelenide XIA Shanlin，BAO Song，SUNJicheng，MIAOXing (ZhonghaoGuangmingResearch＆DesignInstituteofChemicalIndustryCorporation，Dalian116031，China) Abstract：Hydrogenselenideisusedasraw materials，dopinggasandrdeucinggasinintegrated circuitmanufacturing process．Zincselenidedirectlysynthetizedbyhydrogenselenideandzincisoneoftheimpo~antinfraredoptical material， andthepreferrde materialforhighpowerC02lasersystem optics．Thearticledescribesseveralpreparationmehtodsofhy— dmgenselenidenadmakesallestimateofeachmehtod． Keywords：hydrogenselenide；zincselenide；aluminum selenide；synthesis 2010年全球材料加工用激光器销售额已达到 1 国内发展现状 l5．83亿美元，中国光学光电子行业协会激光专业 分会预测未来几年，中国激光加工行业的销售额将 2010年以前，作为硒化锌制备的最重要原料 保持30％以上的年增长速度，2008年全球民用红 之一的硒化氢产品一直依赖国外进 口。光明院科研 外热像仪共销售2O万台，销售额达到28．22亿美 人员在经过三年多的大量小试、中试研究后，研发 元 ，比2007年增长 33．27％，据预测2014年，民 出一套成熟的生产工艺路线，取得了两项国家发明 用红外热像仪销售额将达到61．77亿美元，年均复 专利，填补了国内空白，实现硒化氢这一关键材料 合增长率达 15％。 国产化。 硒化锌是 Ⅱ一VI族半导体透光材料，为红外装 置上的光学窗口、滤光片、红外透镜、棱镜等元件 2 硒化氢的物理性质 的重要材料，也是一种常用的优质镀膜材料。