基于液相ACO及干涉频谱法的多孔氧化铝薄膜在线测量系统研究.pdfVIP

第 卷第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 年 月 基于液相 及干涉频谱法的多孔氧化铝薄膜 在线测量系统研究 刘 超张冬仙 章海军 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江 杭州 摘 要 介绍了多孔氧化铝薄膜 厚度在线测量系统的工作原理系统结构及独特性能在白光宽光 谱照射下薄膜的上表面和下表面反射的两路光线发生干涉产生了携带薄膜光学厚度信息的反射光谱 同时利用液相原子力显微镜 实时获得的 膜的表面形貌信息根据膜系统的 有效介电常数理论经相干势近似计算得到薄膜的有效折射率进而得到此时 膜的物理厚度使用该系 统对 膜氧化制备过程进行了在线扫描和膜厚测量试验成功的获得了 样品的实时表面形貌图像得 到样品的孔隙率和有效折射率并根据样品反射光谱利用反射干涉频谱法计算得到氧化 和 时 膜厚分别为 和 本系统具有测量简便实时性好无损及测量精确的特点在实时测 量和监控膜厚的同时可获得样品的表面形貌孔隙率有效折射率等信息 关键词 多孔氧化铝液相原子力显微镜空隙率反射干涉频谱法在线测量 中图分类号 文献标识码 文章编号 为解决上述问题本文研制了一种基于液相原子力 引 言 和反射干涉频谱法