硅太阳电池扩散方阻均匀性研究.pdfVIP

第27卷第3期 光电技术应用 Vol.27，No.3 2012年6月 ELECTRO-OPTICTECHNOLOGYAPPLICATION June，2012 ·光电器件与材料· 硅太阳电池扩散方阻均匀性研究 谢 卿，高 华，杨 乐 （上海超日太阳能科技股份有限公司，上海 201406 ） 摘 要：在规模化生产制作单晶硅太阳能电池过程中，控制扩散质量是提升电池质量和效率的关键。在分析了设备及工艺 方面存在的影响扩散均匀性因素的基础上，提出了优化扩散均匀性的实验方法，包括：在硅片表面上制作二氧化硅薄膜来减缓磷 扩散的速度；在扩散时控制小氮与氧气的流量比例；减少扩散过程中温度波动对扩散结果的影响；在炉口区域设置较高的温度进 行温度补偿；调整炉内压强使输入输出达到动态平衡等。试验证明这些方法可以改善电池电性能，并对工业化生产具有一定的 参考价值。 关键词：硅太阳电池；扩散；方块电阻；均匀性 + 中图分类号：TM914.4 1 文献标识码：A 文章编号：1673-1255-（2012 ）03-0050-04 Diffusion Uniformity in Sheet Resistance of Silicon Solar Cells XIEQing,GAOHua,YANGLe (ShanghaiChaoriSolarEnergyScienceTechnologyCo.,Shanghai201406,China) Abstract:Inthemanufactureofcrystallinesiliconsolarcells,itisimportanttocontrolthediffusionqualityfor improvingthecellqualityandefficiency.Onthebasisofanalyzingtheeffectofthediffusionuniformityonthe equipmentandthecraftwork,theexperimentalmethodsfortheoptimizingdiffusionuniformityarepresented,in⁃ cludingPdiffusionissloweddownusingSiO sheet,thefluxofN andO iscontrolledinthediffusion,theeffect 2 2 2 ofthetemperaturefluctuationonthediffusionresultisreduced,thetemperatureiscompensatedbysettingthehigh temperatureinthethroatopening,thepressureisadjustedforachievingthedynamicbalance.Theexperiment showsthatthesemethodsarehelpfulforimprovingtheperformanceofsolarcellsandguidingtheproductionofin⁃ dustrialization. Key words:siliconsolarcell;diffusion;sheetresistance;uniformity 当前，规模化生产制作单晶硅太阳电池的流程一 的匹配，整体电性能也更稳定。 般为：清洗制绒—扩散—刻蚀—去磷硅玻璃—镀减反 方块电阻是衡量扩散质量是否符合工艺要求的 射膜—电极印刷—烧结。其中扩散是最关键的工序 重要指标之一。在工业化生产中，扩散后的硅片需 之一，扩散制作的PN结是太阳电池的心脏，它决定了 要测试5个方块电阻（即硅片中间和4个角共5个