基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计.pdfVIP

第41 卷 第4 期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.41 No.4 20 12年7月 Journal of University of Electronic Science and Technology of China Jul. 20 12 ·电子信息材料与器件· 基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计 1,2 1,2 2 1,2 2 1,2 王 巍 ，邹龙庆 ，徐 华 ，李 搏 ，贾培发，李 垒  (1. 重庆邮电大学光电工程学院 重庆 南岸区 400065; 2. 清华大学清华信息科学与技术国家实验室，清华大学智能技术及系统国家重点实验室，清华大学计算机科学与技术系 北京 海淀区 100084) 【摘要】设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台，该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上， 构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统，该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层，既能满足单独设 备的功能仿真需求，也能对整个系统的功能进行仿真验证。该系统实现了对物理气相沉积(PVD)系统中 ，气路中阀门的闭合动 作及气流变化等的实时仿真分析。 关 键 词 功能仿真; 物理气相沉积系统; 半导体工艺设备; SEMI标准 中图分类号 TN305; TP39 文献标识码 A doi:10.3969/j.issn.1001-0548.2012.04.024 Desig n of Semiconductor Manufacturing Equipment Function Simulation System Based on SEMI Standard 1,2 1,2 2 1,2 2 1,2 WANG Wei , ZOU Long-qing , XU Hua , LI Bo , JIA Pei-fa , and LI Lei (1. College of Electronics Engineering, Chongqing University of Posts and Telecommunications Nan’an Chongqing 400065; 2. State Key Laboratory of Intelligent Technology and Systems, Tsinghua National Laboratory for Information Science and Technology, Department of Computer Science and Technology, Tsinghua University Haidian Beijing 100084) Abstract A general and configurable simulation platform based on SEMI standard is designed. On this general platform, a gas pressure subsystem simulation platform is implemented, which has the function layer, logic layer and communication interface layer. This system can meet the