离子交换过程中掺铒磷酸盐玻璃波导表面保护的研究.pdfVIP

中国科学 E 辑 : 技术科学 2009 年 第 39 卷 第 2 期 : 234 ~ 238 SCIENCE IN CHINA PRESS 离子交换过程中掺铒磷酸盐玻璃波导表面 保护的研究 ①②* ② ② ② ① 韩秀友 , 初凤红 , 蔡海文 , 方祖捷 , 赵明山 ① 大连理工大学物理与光电工程学院光子技术研究中心, 大连 116023; ② 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室, 上海 201800 * E-mail: xiuyouhan@ 收稿日期: 2007-06-01; 接受日期: 2007-08-18 上海市科委光科技基金项目(批准号: 022261009)、国家自然科学基金项目(批准号: 、教育部高校博士点基金项目(批准号: 200801411037) 、大连理工大学青年教师培养基金项目(批准号: 893210)和大连理工大学博士启动基金项目(批准号: 893322)资助 摘要 对离子交换过程中掺铒磷酸盐玻璃波导表面的侵蚀现象进行了机理分析和实验研 关键词 究, 得出磷酸盐玻璃结构的弱稳定性、亲水性及磷酸根的弱酸性是造成其表面侵蚀的主要原 离子交换波导 因. 提出镀K9 玻璃薄膜的方法对其表面进行保护, 实验研究表明K9 玻璃薄膜不仅能够对掺 掺铒磷酸盐玻璃 铒磷酸盐玻璃起到保护作用, 而且允许交换离子透过进入磷酸盐玻璃形成波导层. 通过对不 表面侵蚀 K9 玻璃薄膜 同K9 玻璃薄膜厚度下离子交换波导的研究, 得出其厚度在60~80 nm 的范围内保护效果最佳, 为下一步制备掺铒有源玻璃波导器件提供了良好的实验基础. 铒掺杂和铒镱共掺的磷酸盐玻璃与硅酸盐、硼酸 侵蚀问题, 在一定程度上起到了改善效果[10], 然而改 盐等其他玻璃基质材料相比, 在 1.5 μm 光纤通信波 变玻璃组分会引起铒离子掺杂性质, 如掺杂浓度、离 段具有更好的荧光光谱特性和更高的镱→铒能量转 子聚集、上转换等问题, 同时该方法也增加了玻璃制 换效率, 成为制备掺铒波导放大器和波导激光器的 备工艺的复杂性和难度, 提高玻璃制备的成本. 首选基质材料之一, 近年来引起国内外科研工作者 本文对离子交换过程中掺铒磷酸盐玻璃波导表 极大的兴趣[1~6] . 通常制备玻璃集成光波导器件的工 面的侵蚀现象及产生机理进行了分析, 提出镀 K9 玻 艺技术有离子交换、火焰水解、离子注入、飞秒脉冲 璃薄膜对掺铒磷酸盐玻璃表面进行保护的方法, 该 激光直写等方法, 其中离子交换技术具有工艺简单、 方法工艺简单、成本低、易实现. 通过对不同离子交 成本低廉、制备的波导与光纤模式匹配良好等优点, 换工艺条件下的实验研究, 发现 K9 玻璃薄膜能够对 因而得到广泛的研究[7~9] . 然而在利用离子交换技术 掺铒磷酸盐玻璃起到保护作用, 同时允许交换离子 制备掺铒磷酸盐玻璃波导的过程中, 由于磷酸盐玻 透过进入磷酸盐玻璃形成波导层. 对不同 K9 玻璃薄 璃结构的弱稳定性和其较强的吸水性, 在高温熔盐 膜厚度下离子交换波导的性能进行了实验研究, 表 中磷酸盐玻璃表面很容易受到侵蚀, 破坏了波导表 明K9 玻璃薄膜厚度在 60~80 nm 范围内的效果最佳, 面结构, 从而限制了光波导器件的性能. 有文献报道 为制备掺铒有源光波导器