等离子体加工技术若干方向及相关科学工程问题.pdfVIP

等 离 子 体 加 工 技 术 若 干 方 向及 相 关 虿 钳 3z业 - 子 工 程 问题 Sever al Di r e ct i on s of Pl a sma Pr oces s i ng and Rel at ed Sc i ence ／Engi neer i ng Pr obl ems 中航工业北京航空制造工程研究所 武洪 臣 随着现代制造技术的不断发展，等离子体加工技 术的应用 日益普遍，其地位也 日益显著。因为此类过 程的复杂性及学科交叉性，要求从事该领域的研究人 员具有扎实的物理、化学、数学基础和相应 的工程技术 知识 。要使这些技术真正成功应用 。首先，工艺必须是 成熟的；其次 ，必须准确地进行经济效益分析。 成，亚稳态、非晶态的形成等机制； “等离子体与 “加工” 对一些结构器件的要求已达到了 人们对 目前称之为等离子体态 ¨m、am量级( 先进激光陀螺反射镜 物质 的认识可 以追溯到 1879年威廉 基片要求R。≤l nm，集成电路线宽 武洪臣 克鲁克斯( Wi l l i am r ookes ) 对真空 R。≤1 ¨m。在实现这些要求的过程 业 理 学 自 然 t t l 科 S：学 。 褒 ： 喜 梨 磊 茎 放电管 的研究。当时它被实验者叫 中，作为特种加工手段之一的等离子 科研生产第一线 ．参加 ．负责多项科研 做 “r adi ant mat t er ”。接着，1897年 加工工艺的应用越来越广泛，已经分 生产及 型号攻关任务。目前从事表面 英国物理学家s i r J ．J ．Thomson对真 化出来一项新技术——等离子体辅 涂层工艺及技术研究。 “九五”， “十掣， 空放电管的性质进一步研究，并把其 助制造技术 131。实际上，等离子体之 毒 黧燃 冀萼 黧 中产生的物质叫阴极射线 ‘‘c at hode 所以成为现代制造技术 的重要手段 理气相沉积技术”等大型预研课题及 r ay ”。到1928年，由艾瓦尔．朗谬尔 之一，是由其能量状态决定的。物体 多项基金课题。获多项科技成果奖，并 ( I r vi ngLangmui r ) 将放电管中的电离 由固体到等离子体态 的转化过程中， 荣立集 团公司个 人一等、二等、三等 功。 气体最终命名为等离子体 ，距今 已有 都伴随有足够能量的输入，见图1。 夕l 卜o 。 所∥o以¨I作F为／r一种1Y例物从质7形沙态j ”的oo等可离两子。体阡 2 。00 。6 J ． [ E饶 羔2缨 ”学 术 技 术 80多 年 了[ 1- 21。 带头人．获得政府特殊 津贴。 随着科学与工程技术 的迅速发 具有最高的能量状态 ，为现代材料加 展，对新材料、新结构、新工艺的要 工提供 了巨大潜力。 求 日益迫切。人们不仅要对材料 的 本文简要介绍了工业用等离子 表面性能进行改进，而且还要了解 体的分类及等离子体加工技术涉及