基于路径匹配技术的高精度微位移检测系统.pdfVIP

　测量与设备　 基于路径匹配技术的高精度微位移检测系统 刘伟文　赵　辉 (上海交通大学信息检测技术及仪器系 ,上海 200030) 摘 　要 　文中研究了用图像技术来检测微位移的问题 ,提出一种路径匹配微位移检测算法。该算法能自动搜 索移动前后图像中匹配边缘 ,并避免了常用图像匹配算法复杂度太大的问题。文中还对算法进行了可信性分析并 给出了实验结果。理论分析和实验结果表明 ,路径相关微位移检测算法运算量小且获得了亚像素的准确度。 关键词 　图像测量 　路径匹配 　微位移 　检测 法的运算复杂度和提高测量的精度 ,提出一种运算 一、引言 量小 ,精度高的路径匹配微位移检测算法。 微位移是目前超精密计量测试的重要技术手 二、路径匹配微位移检测算法的提出 段。传统位移量的检测方法 ,如采用线纹尺或光学 仪器测量位移量 ,它的最大缺陷是分辨力和测量精 假设物体在运动过程中本身不作旋转 , 只是简 度达不到要求 ,效率低。国内外研制成功的激光测 单的平移 ,在这种情况下 ,物体任一部分空间位置的 微系统 ,虽然有很高的测量精度 ,但设备价格昂贵 , 变化应该是一样的 , 即任一部分的位移相等。在图 不能满足一般的工程需要。随着测量技术与计算机 像中 ,物体的这种“特征”可以是“特征点”、“特征线” 技术的发展 , 图像测量技术得到迅速发展。图像测 或“特征块”,统称为“模板”。这样 ,是否可以用图像 量方法具有非接触 ,信息量丰富 ,智能化程度高 ,成 匹配来计算位移呢 ? 本相对低廉等诸多优点 ,广泛应用于各种实时、在线 基于“特征块”的匹配叫模板匹配 ,它是图像匹 的精密测量场合[1 ] 。 配中最常用也是最基本的方法。最初提出时模板匹 本文针对以 CCD 和图像卡为测量主体的图像 配算法只能在像素级执行 ,文献[2 ]给出了在亚像素 测量系统 ,探讨将图像技术应用于微小位移的测量 级执行的匹配算法 ,可是它们都没有解决算法复杂 算法。从由梯度算子运算后的图像入手 ,为降低算 度大的问题 ,不能满足实时要求。图 1 所示为经梯 图 1 度算子运算后的元器件轮廓图。从图中可以看出 , 减小很多。 元件边缘轮廓清晰 ,噪声影响小 ,但边界还具有一定 三、路径匹配微位移检测算法 的宽度。这时可以联想到 ,如果确定出“特征线”而 不是“特征块”,只进行线与线之间的匹配运算而不 1 求取边界灰度阀值 是块与块之间的匹配运算 ,那么算法的时间就可以 图2 所示为元件梯度图像及其灰度直方图。由 计量技术 2004 No 1 ·　　　15 · © 1995-2005 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. 　测量与设备　 图可见 ,直方图的两个波峰明显 ,靠零点的波峰很 M b + Mf 两峰值的