干涉法在光栅波前检测中的应用研究.pdfVIP

第34卷第2期 长春理工大学学报 (自然科学版 ) VO1．34 No．2 2011年6月 JournalofChangchunUniversityofScienceandTechnology(NaturalScienceEdition) Jun．201l 干涉法在光栅波前检测中的应用研究 吴迪，齐向东，车英，郭林炀 (长春理工大学 光电工程学院，长春 130022) 摘 要：~-Preff对凹面衍射光栅波前检测方法进行研究。实验光路的搭建基于泰曼干涉仪检测原理，针对凹面光栅 检测进行相应的改进，成功获得凹面光栅零级和一级干涉条纹，从而证明了用干涉法检验凹面光栅衍射波前的可行 性，为凹面光栅的加工质量检测提供了理论依据。 关键词：衍射光栅；凹面光栅；波前检测；波前像差 中图分类号：0348．12 文献标识码 ：A 文章编号：1672-9870(2011)02-0005-03 ResearchonApplicationofInterference M ethodforTestingGratingW avefront WUDi，QIXiangdong，CHEYing，GUOLinyang (ChangchunUniversityofScienceandTechnology，Changchun130022) Abstract：Inthispaper，experimentalopticalstructureshavebeenfmishedbasedontheTwymaninterferometerfortesting concavegratingwithimprovements．ZeroandoneorderinterferencefringehavebeenobtainedsuccessfullzWavefronttest ofconcavediffractiongratingbyinterferenceisprovedtobefeasible，providnigthequaliytbasisofprocessnignispectionof hteconcavegrating． Keywords：diffractionrgating；concavergating；wavefronttesting；wavefrontaberration 衍射光栅是利用光的多狭缝衍射效应进行色 小尺度刻划误差即一块刻划完美的平面光栅将 散，使光波衍射而产生大量光束，从而利用这些光 产生完善的平面衍射波面。在 自准直情况下，一块 束的干涉形成光谱的光栅元件，它是应用在光谱仪 光栅可看作是倾斜放置阶梯的形式，如果观察者位 器中的核心元件之一，在光谱应用中起着相当重要 于衍射波面的垂直方向上，衍射波面平行于垂直刻 的作用 ∽ 。 槽的一条边，并与光栅的平均表面倾角 = 。设光 本文首先介绍生产中导致衍射光栅质量下降从 栅的一个刻槽沿平均表面位移△口，则在波面垂直分 而产生衍射波前缺陷的原因，其次针对凹面衍射光 量上的变化AasinO,，衍射波面象差为2Aasin0k。故 栅波前检测方法进行研究设计。实验光路的搭建基 其波面象差为： 于泰曼干涉仪检测原理，针对凹面光栅检测进行相 A(r／)=Aasin0k (1) 应的改进，获取凹面光栅零级和一级干涉条纹，从 则波面位相象差为： 而证明用干涉法检验凹面光栅衍射波前的可行性。