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第37 卷 第6 期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.37 No.6 2008年11月 Journal of University of Electronic Science and Technology of China Nov. 2008 ·光电子学工程与应用 · 温度对聚合物QCM传感器性能的影响研究 1 2 2 2 应智花 ，蒋亚东 ，杜晓松 ，谢光忠 (1. 杭州电子科技大学电子信息学院 杭州 310008; 2. 电子科技大学光电信息学院；电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054) 【摘要】以聚偏氟乙烯(PVDF)为敏感材料，石英晶体微天平(QCM)为敏感元件构成聚合物QCM传感器。该文主要对神经 毒剂模拟剂DMMP的气敏特性进行研究，并重点讨论了温度对PVDF聚合物膜层QCM传感器性能的影响。结果表明，当测试 温度愈接近PVDF的玻璃化温度，传感器的响应幅值就愈高，且在各个DMMP测试气氛浓度时，传感器的响应幅值对温度的依 赖性均符合Arrhenius关系；升高温度有利于提高传感器的响应速度，但同时其灵敏度却降低。 关 键 词 Arrhenius关系; 聚偏氟乙烯; QCM传感器; 温度 中图分类号 TP311.11 文献标识码 A Temperature Influence on Polymer Films Coated QCM Sensor Performances 1 2 2 2 YING Zhi-hua , JIANG Ya-dong , DU Xiao-song , and XIE Guang-zhong (1. Department of Electronics and Information, Hangzhou DIANZI University Hangzhou 310018; 2. School of Optoelectronic Information, University of Electronic Science and Technology of China; State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054) Abstract Poly (vinylidene fluoride) (PVDF) modified quartz crystal microbalance (QCM) sensor has been prepared for DMMP vapor detection. The temperature influence on the performances of the sensor was emphatically investigated. The results show that the sensitivity of the sensor is higher with the working temperature closer to the glass transition temperature (T ) of PVDF, and the absolute frequency responses of the PVDF coated g QCM se