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- 2017-09-12 发布于山东
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CuO 与含Cl 缓蚀剂膜的分子动力学行为
胡军，王赟，余历军，马晓迅**
（西北大学化工学院，西安，710069 ）
5 摘要：以含氯离子的BTA 、MBT 和TTA 三种缓蚀剂层与 CuO （-1 0 0）面为研究对象，
采用分子动力学的方法，研究了层间的相互作用能、氯离子的扩散和缓蚀剂膜的自扩散等性
质，揭示了氯离子在不同缓蚀剂膜中扩散的微观机理和动力学行为。研究结果表明：BTA 、
TTA 与MBT 的缓蚀机理是不一样的，BTA 和TTA 主要是靠直接化学吸附达到缓蚀目的；
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