多线切割机速度同步系统的自适应逆控制.pdfVIP

第25卷第6期 控 制 理 论 与 应 用 、，01．25NO．6 2008年 12月 ControlTheory Applications Dec．2008 文章编号：1000—8152(2008)06—1007--04 多线切割机速度同步系统的自适应逆控制 张义兵 ，一，戴瑜兴 ，汤 睿 (1．湖南大学 电气与信息工程学院，湖南 长沙410082；2．湘潭大学信息工程学院，湖南湘潭 411105) 摘要：分析了多线切割机放线系统张力锤的速度调节和张力控制的机械结构原理；针对高速运行时数字PID控制 系统存在的问题，提出了一种 自适应逆随动控制系统结构，该系统以主电机为参考模型，是由一个系统辨识环节和 一 个 自适应控制器环节构成，引入虚拟模型自适应地调整控制器，使放线电机与主电机具有类似的动态特性；样机 的实验结果证明了该系统的可行性；对跟随误差进行了全面的分析并提出了提高控制精度的方法． 关键词：多线切割机；自适应逆控制；系统辨识；伺服控制 中图分类号：TP13 文献标识码：A Adaptiveinversecontrolofspeedsynchronizationsystem for am ulti-wireSaw ZHANG Yi—bing ，_，DAIYu—xing ．TANGRui (1．CollegeofElectricandInformationEngineering，HunanUniversity,ChangshaHunan411105，China； 2．CollegeofInformationScienceandEngineering，XinagtanUniversity,XinagtnaHunan411105，China) Abstract：Thispaperanalyzesthemechanicalstructure．principleofthespeedna dtensioncontrolforhtetensionhamper inamulti—Wiresaw．ToimprovetheexistingconrtolperformnaceofthePID controller，weproposena adaptiveinverse controlalgorithm whichtakeshtemainmotorasthereferencemodelandconsistsofasystem identificationprocessand anadaptivecontrollerprocess．Whenthemulti．wiresaw isinoperation．htecontrolleradaptivelyadiustshtespeedof thesupplyingmotortotracktheoutputspeedofhtemainmotor．Theexperimentresultsvalidate也esystem feasibility． Analysisofthetrackingerrorisgivenin—depth，andhtemeasuresofritsreductionarealsoproposed． KeYwords：multi—wiresaw；adaptiveinverseconrtol；system identification；servocontrol 1 引言(Introduction) 性伸缩的情况下，重力摆锤的速度VG为 多丝切割是一种通过金属丝的高速往复运动把 UG=(Vlf一37~s)／2． (1) 磨料带入半导体加工区域进行研磨，最终把半导体 2)施加张力． 切割成片薄片的一种新型加工