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激《光杂志》蒸蓦 秀 算的激枣 镕：5 ．．N。．6．姗) 49 基于衍射计算的激光束变换应用研究 傅纪斌 ，姚建华 ，胡晓冬 ，陈 君I，董辰辉l1 ／1．浙江工业大学机械制造及 自动化教育部重点实验室，浙江 杭州 310014；＼ ＼2．浙江_T-业大学激光加X-技术工程研究中心，浙江 杭州 310014 ， 提要：通过建立等效近似光学系统，研究了激光加工用的抛物面反射聚焦系统的光学变换特征，并根据标量衍射理论，导出任意给定入射 光束在通过光学系统后不同空间平面上光束的强度分布，并对实际检测的高功率高阶混合多模激光束通过聚焦系统后的光强分布做了详细的 计算。结果表明，衍射计算的结果与实验相吻合。 关键词：衍射计算；激光变换：抛物面反射镜；激光加工 中图分类号：TN241 文献标识码：A 文章编号：0253—27 (2008)06一OO49—02 Applicationresearchoflaserbeam transformationbased011diffractioncalculation FUJi—bin1,2tYAOJian—huaI~21HU Xiao～dongl,2CHENjnn1,2,DONGChen—hui_ f1．TheMOEKeyLaboratoryofMechanicManufactureandAutomation，ZhejiangUniversityofTcehnology，Hangzhno·Zhejiang310014，China；1 、2．ResearchCenterofI~lserProcessingTcehnologyandEngineering。ZhejiangUniversityofTechnology，nnas~no-Zhejiang310014，China ， Abstract：Th ispapernF~~3anequivalentappmxlmateopticalsystemtostudythepoticaltransformatino charactersofparabolicinirlorsystemswhichhavebeen appliedtohtelaserheattPe8nnent．Basedonscalardiffractino hteoryandforarbitraryincidencelaserbeams。intensitydistributinosindifferentspatialplnaesbe‘ ． hindallpoticalsystem derivde．Finally。simulatde calculationsofintensitydistributinosafterfocusingsystemof practical incidencelaserare ven．Thercsuhs werea wiht theexperiments． Keywords：diffractino calculatino ；lasertransformatino ；parabolicminor；laserprocessing 为了使激光器输出的激光能够进行实际的激光加工，需 过光学系统后与焦平面相平行的各平面上的激光功率密度 要把激光束传输到不同距离的工件表面，并且使光束具有一 分布。 个特定的与给定工艺相适应的功率密度。但是，激光束的功 1．2 衍射理论在抛物面反射镜系统的应用 率密度分布 已由模式完全确定，利用直接来 自激光器的光束 根据图2所示坐标变换关系 l= 10，Yl=Yl0，用菲涅耳 或者通过简单聚焦系统进行变换后的光束通常不能满足要 衍射理论l5j研究通过光学系统后激光束在任意给定的观测 求。传输过程中，根据不同加工的需要，必须采用各种光学