激光光束的整形技术.pdfVIP

激《光杂志》20o8年第葛霭潜光光束蓑{譬iRNAI．(V01．29．N。．6．2008) · 综合评述 · 激光光束的整形技术 林 勇，胡家升 (大连理工大学电子与信息工程学院，大连 l16024) 提要：本文简要概括了激光光束整形技术的发展和研究现状。就几种典型的光束整形技术，如非球面透镜组整形、微透镜阵列整形、衍射 光学元件整形、双折射透镜组整形 液晶空问光调制器和圆锥镜等整形技术作了分类评述和讨论。介绍了各种整形的技术特点和实现方法，指 出了这些整形技术尚待解决的一些问题，并展望了它们的可能应用领域和发展前景。 关键词：光束整形；高斯光束；强度分布均匀化，长焦深 中图分类号：rI№48．1 文献标识码 ：A 文章编号：0253一 43(2008)06—0001—04 2 《激光杂志} 林 勇等：激光光束的整形技术 2008年第29卷第-6期 LASERJOURNAL(Vo1．29．No．6．2008) 叠加产生均匀照明，因此不可避免的在靶面产生干涉斑纹， 相位分布，但在元件生产制造上 目前还受一些加工技术条件 影响整形效果。鉴于微透镜阵列的上述两个缺点，研究人员 的限制，如相位片的精确厚度及元件边缘结构的精确量化控 提出了一些改进方法。其中，Pepler等人 j通过改变每个 制5’]等。但随着设计理论、加工工艺、复制工艺等的不断完 小透镜的相位分布来缓解靶面干涉斑纹的影响。Copp j和 善，在可预见的将来，利用衍射光学元件进行光束整形必将 B0uantiI30)等人将微透镜阵列与无规则相位板、或衍射光学元 有着越来越广泛的应用前景。 件阵列、或变焦非对称阵列分割器相配合，来提高输出光束 2．4 双折射透镜组 的均匀性。但这些做法也增加了系统的复杂程度和加工难 上述所提方法中存在一个共同的缺点：即每个器件是针 度，提高了制作成本。 对特定的光束参数而设计的，造好的器件不能随光束灵活地 由于微透镜阵列是通过光束的分割和子束的叠加实现 调节其透过率函数，劳伦兹．利弗莫尔国家实验室提出的双 整形的，它对入射光束强度分布不敏感，因此该方法特别适 折射透镜组系统lm83解决了这个 问题，并巧妙而方便的实现 合光场强度分布不规则、相干性差的准分子激光器 3¨的整 了激光束的空间整形。 形。研究人员也提出了一些其它适用于此类激光束整形的 该系统由两对双折射晶体透镜 Ll、I2、L3、L4和一个检 方法：四面棱镜法[323是利用四面棱镜将入射光束分成四束 偏器P组成，如图2a所示。晶体的主轴方向垂直于光轴方 光束，四束光束在靶面叠加来改善均匀性，但该方法获得均 向。u和L4是两个完全相同的平凸透镜 ，对于偏振光透镜 匀光束截面的位置极严格的对应于光楔的角度。反射镜折 中心相当于L／2波片，有效通光孔径边缘相当于L／4波片，两 镜对称排列：I2和 I3是两个完全相同的平凹透镜，中心相当 叠光束法l3¨是入射光束经不同平面镜的多次反射使能量分 于L／4波片，有效通光 口径边缘相当于X／2波片，两镜对称放 布均匀，由于对反射角度有一定限制 ，因此该方法的装配和 置；让透镜 Ll，L4的主轴平行并保持不动，透镜 和 l3的主 调试较为困难。万花筒法 3是利用光波导，入射光束在波 轴平行并作为一个整体可以绕系统的光轴旋转至任意角度。 导管内多次反射后输出光能重新分布，该方法制作、装调简 激光器输出的线偏振光束通过该系统