化学溶液法在LaAlO3单晶基体上制备YBa2Cu3O7-x薄膜的研究.pdfVIP

第 32卷 第 6期 稀 有 金 属 2008年 12月 Vo1．32№ ．6 CHINESEJOURNALOFRAREMETALS Dec．20o8 化学溶液法在LaAIO3单晶基体上制备YBazCu307一薄膜的研究 丁发柱，古宏伟 ，李 搜 (北京有色金属研究总院超导材料研究中心，北京 100088) 摘要：采用三氟乙酸盐．金属有机沉积 (TFA—MOD)法在LaA103单晶基体上成功地制备了YBa2Cu307一超导薄膜(简称YBCO薄膜)，并比较系 统地研究了烧结温度对YBCO薄膜的影响。在烧结温度为820oC时，所制备的YBCO薄膜完全呈 c．轴取向，无 口．轴取向的晶粒和杂质相存 在，YBCO薄膜的表面无裂纹存在，表面平整，超导转变温度 T一90K，转变宽度△Tc：1K，临界电流密度()可达 1．2MAc·m_(77K，0T)。 关键词：TFA．MOD；YBCO；高温超导薄膜 中图分类号：TM26 文献标识码：A 文章编号：0258—7076(2008)06—0744—04 自从 1986年MtillerE1发现具有比传统的金属及 导薄膜，研究了烧结温度对TFA．MOD法制备 YB． 合金更高转变温度的铜氧化合物高温超导材料以 CO薄膜的影响，并且对其微观结构、表面形貌和 来，YBCO和BiSrCaCuO(简称Bi系)带材的应用基 电学性能进行了分析。 础研究一直是超导研究的主要内容之一。目前高温 1 实 验 超导带材能否商业化面临的主要挑战是如何在保证 应用性能的基础上降低制备成本。第一代 Bi系带材 按Y：Ba：Cu：1：2：3的比例把Y(CH3COO)3， 已达到商业化的水平，但磁通蠕动使这类带材在高 Ba(CH3coo)和Cu(CH3coo)2混合，室温溶于含 磁场下不能负载较高的超导电流；并且就商业化而 25％的三氟乙酸的去离子水溶液中配成溶液，配 言，由于Bi系带材一般是用 Ag作为包套材料，成 制好的混合物在75℃回流4h以提高溶液均匀性， 本也较高。而第二代超导带材是在Ni基带上沉积 然后溶液在空气中晾干为蓝色的溶胶，最后把溶 YBCO成为复合带材，不仅YBCO不可逆场高，可以 胶溶于适量甲醇配成Y，Ba，Cu3种金属离子浓度 在较高的温度和磁场下应用的优势得以发挥，并且 为 1．52mol·L 的前驱液。把前驱液用匀胶机涂覆 制造成本比较低。因此，在发展第二代超导带材的 在超声清洗过的LaA10衬底(转速为4000r·min～， 过程中，开发一种有效的制备YBCO带材工艺十分 加速时间为0．4S，匀胶时间是2min)上，最后将 关键。目前有数种方法，包括物理的_2 和化学 样品放在石英舟里送人管式石英炉里进行低温热 的_5 都可以用来制备YBCO薄膜。与这些方法相 分解和高温热处理，热处理工艺曲线如图 1所示。 比，金属有机沉积 (MOD)法[】 有众多优点。第 低温热分解在400℃下进行，其 目的是为了使三氟 一 ， 溶液涂层技术能够满足工业上对涂层的宽度和 乙酸盐分解 ，形成 CuO，YO 和BaF 的无定型的 长度要求。第二，与磁控溅射、金属有机化学气相沉 前驱膜并排出有害的残余物质。而高温热处理一 积和脉冲激光沉积 (PLD)需要在真空系统内完成相 般在700—900℃、湿润的N和 O：氛围下进行， 比，金属有机沉积成本低，沉积速率高。第三，成分 所形成的无定形前驱物形成四方相的YBCO，然后 容易控制，可以精确控制金属组员的配比，并可以 在干燥的氧气环境下冷却到 500℃，使四方相的 在复杂形状表面均匀成膜。