高性能有机薄膜晶体管(OTFT)制备及其导电机制.pdfVIP

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专家论坛 Exp ert Forum 高性能有机薄膜晶体管 ( OTFT) 制备及其导电机制 江  潮 , 于爱芳 , 祁  琼 ( 国家纳米科学中心 , 北京  100 190) 摘要 : 详细介绍了在 SiO2 和高 k Hf O2 介质层上制备并五苯薄膜晶体管方面的研究 , 特别是利用 ( ) ( ) 原子力显微技术 A FM 和静电力显微技术 EFM 研究了并五苯分子初始生长模式 , 揭示了 ( ) 衬底形貌 、表面化学性能 包括化学清洗和聚合物层修饰 对有机半导体成膜结构和薄膜场效应 晶体管性能之间的关联 , 包括晶体管迁移率 、开关比和阈值电压等 ; 针对并五苯初始生长成核模 ( ) 式的差异 , 分析了不同岛 畴 间畴边界对载流子在有机薄膜内输运的影响 , 有助于理解有机半 导体薄膜导电机理 。通过优化和控制介电层和有机半导体薄膜层的界面化学性质 , 在 SiO2 介质 2 6 层上成功制备出迁移率为 1. 0 cm / V ·s 、开关电流比达到 10 的O TF T 器件 ; 在高 k Hf O2 介质 层上获得的 O TF T 器件的工作电压在 - 5 V 以下 , 开关电流比达到 105 , 载流子迁移率为 0 . 6 2 cm / V ·s ; 器件性能指标已经达到目前国际上文献报道的最好水平 。 关键词 : 有机薄膜晶体管 ; 并五苯 ; 初始生长模式 ; 导电机制 中图分类号 : TN32 1. 5 ; TN304 . 5  文献标识码 : A  文章编号 : 167 1- 4776 (2009) 07- 0385- 06 Fabrication of High Perf ormance PentaceneBased Organic ThinFil m Transistor and Its Mechanism of Mobil

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