光学元件表面缺陷的显微散射暗场成像及数字化评价系统3.pdfVIP

第 27 卷 　第 6 期 光 　学 　学 　报 Vol . 27 ,No . 6 2007 年 6 月 　　　 　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　 J une , 2007 A C TA O P TICA SIN ICA 文章编号 :(2007) 06103 18 光学元件表面缺陷的显微散射暗场成像及 数字化评价系统 1 1 1 1 2 2 杨甬英 　陆春华 　梁 　蛟 　刘 　东 　杨李茗 　李瑞洁 1 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 , 杭州 3 10027 2 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 绵阳 62 1000 ( ) 摘要 : 　根据国际 ISO 10 1107 的表面缺陷标准及惯性约束聚变 ICF 工程标准 ,提出了一种新颖的光学元件表面 缺陷的光学显微散射成像及数字化评价系统 ,多束光纤冷光源呈环状分布并以一定角度斜入射到数毫米视场的被 检表面 ,形成适合数字图像二值化处理的暗背景上的亮疵病图像 。对 X , Y 两方向进行子孔径图像扫描成像 ,利用 模板匹配原理对获得的子孔径图像进行拼接得到全孔径表面疵病图像信息 。基于数学形态学建立了可用于大 口 径表面检测扫描的图像处理的模式识别软件体系 ,并应用二元光学制作了标准对比板 , 以获得疵病正确的评价依 据 。最终利用该变倍光学显微镜散射成像系统得到能分辨微米量级表面疵病的图像 ,其单个子孔径物方视场约为 3 mm ,对 X , Y 两方向进行 5 ×5 子孔径图像扫描成像 ,并给出了与标准比对的定量数据结果 。实验结果表明 ,本系 统完全可以实现光学元件表面缺陷的数字化评价 。 关键词 : 　光学测量 ; 表面疵病 ; 显微散射成像 ; 形态学 中图分类号 : T H74 1. 8 　　　文献标识码 : A Micr oscop ic D a r kFiel d Scat t er i n g I m a gi n g a n d Di git aliz at i on Eval u at i on Syst em of Def ect s on Op t ical Devices P r ecisi on Su rf ace 1 1 1 1 2 2 Yan g Yon gyin g 　L u Chun hua 　L ian g J iao 　L iu Don g 　Yan g L imin g 　L i Ruij ie 1 St a t e Key L abor a t or y of Moder n Op t ical I n st r u m e n t a t i on , Zhej i a n g U n