力反馈式微机械加速度计刚度的自适应调整.pdfVIP

第 l8卷 第 1l期 光学 精密工程 Vo1．18 No．11 2010年 11月 OpticsandPrecisionEngineering NOV．2O1O 文章编号 1004—924X(2010)11-2430—07 力反馈式微机械加速度计刚度的自适应调整 李童杰，刘云峰，董景新，范 达 (清华大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京 100084) 摘要 ：为了提高模拟力平衡式 电容微机械加速度计的鲁棒性和分辨率 ，对系统的非线性进行了研究。通过分析系统的数 学模型，认为力发生器的非线性会 引人一个可变负刚度 。在传统方案 中，为保证加速度计满量程时总刚度大于 0，预载 电压要小于失稳预载的 0．707，这就造成在加速度输入较小时其总刚度较大 ，从而影响其 阈值 以及小输入时 的分辨率 。 为弥补传统方案中力矩器非线性对系统分辨力 的影响，本文应用 自适应理论 ，提 出一种基于总刚度不变的变预载 自适应 调整方法来提高闭环系统 的鲁棒性和分辨率。设计 了一种基于 DSP的数字式微机械加速度计并进行 了试验。试验结 果表明，采用 自适应调整方案后 ，加速度计在 og附近的分辨率 由43．2 g提高到 11．3 g，1g附近的分辨率 由36．4 g 提高到12．1 g，这些数据验证 了 自适应调整方案对系统性能的改进 。 关 键 词：微机械加速度计；自适应控制；刚度 ；变预载 ；分辨率 中图分类号 ：TH824．4 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2430 Adaptingadjustmentofstiffnessforforcefeedbackmicroaccelerometer IATong—jie，LIUYun—feng，DONGJing—xin，FAN Da (StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasurementTechnologyand Instruments， TsinghuaUniversity，Beijing 100084，China) Abstract：Toimprovetheroborantcapacityandtheresolutionofam icromechanica1accelerometer，the nonlinearityofthesystem wasstudied．Themathematicmodelofthesystem wasdiscussed and the variableelectrostaticstiffnessbroughtbythenonlinearityofaelectrostatictorquewasanalyzed．Ana— lyticalresultsshow thatthepreloadvoltageisusedtobelessthan0．707timeofcripplingloadvoltage SOastomaketotalstiffnessgreaterthan zero，whichwillcauseapoorresolutionwhen theinputis near0g．Inview ofthenonlineareffect，anadaptiveadjustmentmethodinwhichthetotalstiffness waskeptaconstantandthepreloadvoltageandthefeedbackvoltagewererenewedeverysamplingcy— clewasproposedtOimprovethestabilityandresolutionofthesystem．Finally，adigitalmicroacceler— ometerbasedonDSPwasdeveloped，thenitwastestedbyusingtheadaptiveadjustmentmethod．Ex— perimentalresultsindicatethattheresolutionoftheaccelerameterisimprove