原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
2002 年第 3 期
40 分 析 仪 器
- 196 16 Lammel G , Schweizer S , Renaud P. MEMS lnfrared Gas
( )
8 汪洪. 化工自动化及仪表 ,2000 , 2 :54 - 55 Spectrometer Based on A Porous Silicon Tunable Filter ,
9 袁洪福等. 现代科学仪器 ,1998 , (5) :6 - 9 Micro Electro Mechanical Systems , 2001. MEMS 2001.
( )
10 高建波等. 清华大学学报 ,2001 , 3 :121 - 124 The 14th IEEE International Conference on , 2001 Page
( ) ( )
11 邵学广等. 化学进展 ,2000 , 3 :233 - 245 s :578 - 581
12 张永胜等. 数据采集与处理 ,1998 , ( 12) :393 - 396 17 Hara H , Kishi N , Iwaoka H. Silicon Bolometer and Micro
( )
13 尹丹娜等. 沈阳化工学院学报 ,1999 , 3 :187 - 189 Variable Infrared Filter for CO2 Measurement , Optical
( )
14 范世福. 分析仪器 ,2000 , 3 :1 - 3 MEMS , 2000 IEEE/ L EOS International Conference on ,
( )
15 Kaoru Yamashita et al. Sensor and Actuators , 1998 , 2000 , Page s :139 - 140
(A66) :29 - 32 收稿日期 :2002 - 03 - 07
张永怀 ,男 ,陕西宝鸡人 ,西安交通大学电气学院测控专业博士研究生 ,主要研究方向光学气体分析仪
器、微型智能传感器系统及环境信息处理技术应用。
A review of infrared gas analyzers. Zhang Yonghuai , B ai Peng , L iu J unhua ( School of Elect ric Engineering , Xi n Jiaotong
)
U niversity , Xi n , 710049
The characteristics and applications of various kinds of infrared gas analyzers are described. The c
文档评论（0）