激光诱导等离子体技术LIBS在金薄膜加工微检测中的应用研究.pdfVIP

第28卷，第lO欺 200 and October，2008 8年10冀 SpectroscopySpectralAnalysis 激光诱导等离子体技术(LIBS)在金薄膜加工微检测中的应用研究 袁冬青，斌 馥。，沈 竖，任乃飞，蔡兰 江苏大学光子制造科学技术中心，江苏镇江212013 摘要薄膜材料微加工是微纳技术、微机电系统、光电子领域的核心技术。文章提出了针对薄膜加工时缺 乏有效瓣矮量控裁手段，瘟鼹激光诱导等离子侮(LIBS)技拳进行避纛表在豹方法。研究”r脉冲激光敛魏王 过程辛簿离子薅量与激发条佟麓关系。缮交了程羝鞭(20Hz)秘在凌定麓量隶平条终下，等枣子薅量程怼 稳定，不依赖于脉冲次数。谯单脉冲条件下，激发等离子体量随着能掇的升高而增加。根据等离子体量和元 素类别可实现对微加工过程去除量进行实时表征。 关键词LIBS；等离子体；薄骥；微加工；实对羧制 孛强分类每：053 文藏檬浚鹞：A 引 言 1理论 对金属薄骥邋符微纳足度的加工广泛遵应掰于徽电子靼 徽戳壤谩备上，筵孛主要毽瑟整貘瓣黪复泼及毙毫嚣终稳 窭激光聚焦戮旋溺餐簿土，熬跨激淹弱持续薅淘一般必lO MEMS设备的粼遣u]。激光加工薄膜的机理以及在不阕环ns，到达材料表黼的功率密度达lGw·cm-。，在翔_f琏：高激 境下的加工已有报道2。“，激光加工毖有优异性能，其加工 光功率密度作用下，被测材料表面很快就会有少量(火约几 精度达到1／2m。但是现在对于薄膜的加工过程缺少有效的 微克)的物质喷射出来，这个过程称为激光剥离，同肘一个 控制方法，导致薄膜加工质量很不稳定。尤其当使用纳秒激 寿命很短，具有商舜态温度(10000℃)的发光等离子体在材 必瓤工时，耄予激必与耪耱豹雩#锺对阙篷不稳定导致鸯a曩避 辩表嚣形成。在这束等枣子俸璧，鞴落榜辩蔹分鼹为溪予穰 程产生较大懿稼夔。本文霹嫠曩激受筹离子箨光灌秘8S)技燕子。在激党辣；孛戆最君，等离予俸竣怒音速蠢瘸圈扩散快 术加工质量的蜜时控制进行了研究。 速冷却，同时处于激发态的原子和离子从高能态跃迸剿低能 LIBS技术槛元素定性与定量分析中是一个重要的工鼹，态，并发射出舆有特定波长的光辐射。通过灵敏的光谱仪探 具有可选性，破坏性小，分辨率高以及可对固态，液态，气 测并分析辐射光谱就能得到材料中元素的种类(通道辎射谱 态以及浮质材料进行实时分析。从1962年起，BreehE7]最先的波长确定)秘该元素的浓度(邋过辐射波谱蜂值的暇度确 在筹卡藩鏊际燹漤学谂文孛，撬墨矮缝宝石徽凌滋耪器诱镑 产生等离子体酌搬谱亿学法。壹药瑗谯这种技术被广泛废耀 及研究，如环境污染的监测，材料加工的控制等。现在LlBS 技术的研究热度不断升高，重点转向提高探测的可靠性。缀 济性和高精度，以及对各种加工过稷的实时监控研究。文中 旋爆LIBS技零零黢灏激发等离子俸的强度，通过对犟黻j串 不鞫篚鼙繇及一震怒藿不霹豫砖数豹漕嚣瞬究萁与等褰予髂 量之闯的关系。为实现实时监控薄膜袭西微细加工傲墓础研 究。 Schematicoflaser-inducedbreakdown F培1 diagram sp噬troscopy(LIBS)technique 嫒蔫曩期：2007-09-08．蘩订嚣期：2007-12-18 项目(07KIA46003)资助 zm-laser(西126．tom 作者简介：袁冬青，1981年生。江苏大学光子制造科学技术中心博_七研究生*濑汛联系人 e-maili 万方数据 第lo期 光谱学与光谱分析