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第 13 卷 第 2 期 实 验 力 学 V o l. 13, N o. 2 1998 年 6 月 JOU RNAL O F EXPER IM EN TAL M ECHAN ICS Jun. 1998   行波超声马达的快速、精确定位控制 金 龙 朱美玲 赵淳生      ( 东南大学, 南京, 210096)    (南京航空航天大学, 210016) 摘要 理论和实验两方面的研究表明, 行波超声马达的速度响应对输入电压的传 递函数可以用一阶形式来近似。因此提出了一种实用的比例积分控制方法, 可使系统 实现快速响应和精确的定位控制。 关键词 行波, 马达, 控制 1 引言   行波超声马达是利用电能产生超声振动并通过摩擦将其转换成旋转或线性运动的新型马 达。它具有低速、大扭矩、结构紧凑、无电源时能自锁、响应快等优点, 很适合作为一种伺服控 制装置。行波超声马达的工作原理不同于电磁马达, 其精确的数学模型很难建立。由于环形 行波超声马达是通过压电陶瓷产生超声振动并通过摩擦耦合产生驱动力, 因此其转子速度响 应非常快, 一般为几毫秒。本文所介绍的环形行波超声马达的结构如图 1 所示, 定子上的压 电陶瓷在二相交变电压作用下, 使得定子产生时间和空间上相差 90 °的两个弯曲振动驻波, 进 而在弹性体与运动相接触的表面质点作椭圆运动。椭圆运动的顶点与转子相接触, 产生一致 的切向摩擦力, 进而推动转子运动。为了充分发挥超声马达的优点, 必须对其进行控制。 由文[1, 2 ]可知, 超声马达一般是通过控制二相电压的幅值、频率和相位来控制转速的。 本文通过分析马达的传动机理并通过实验表明, 对电压输入和旋转速度输出, 马达具有 近似的一阶传递函数形式。因此, 本文提出用电压幅值的改变来对旋转超声马达的速度、位 置进行控制的方法。 本文对上述线性系统采用了实用化的比例积分控制, 结果不仅实现了系统的快速响应, 且可消除系统稳态误差。 2 旋转型行波超声马达传动机理分析 2. 1 定子表面质点运动分析[ 3, 4 ]   超声马达定子上的压电陶瓷在二相交变电压作用下, 在弹性体内形成两个时空相差 90 ° 的弯曲振动驻波, 进而在弹性体定子内合成一个沿圆环周向旋转的弯曲振动行波, 行波使弹 本文于 1997 年 7 月 9 日收到第1 次稿, 1998 年 4 月 27 日收到修改稿 © 1995-2004 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved.  第 2 期        金 龙等: 行波超声马达的快速、精确定位控制           263 性体与运动体相接触的表面质点作椭圆运动。将圆环展成直粱, 定子内的弯曲行波如图 2 所 示。设弹性体的厚度为 , 行波波长为 , 为定子周长。 为定子环上一周的极径数, 弯曲振 h L N 图 1 马达基本结构          图 2 定子表面质点运动分析 动的横向位移为 , 角频率为 , 那么在弹性体内中性层的行

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