光弹调制差分反射分析系统的建立与应用.pdfVIP

维普资讯 实 验 技 术 与 管 理 V。·．20 N。．6 2oos 光弹调制差分反射分析系统的建立与应用 王凤平。，罗 胜。，潘礼庆 。，邱 宏。，吴 平。，田 跃。，孟 江 ，刘 云 (1．北京科技大学物理系，北京 100083；2．北京科技大学实验室管理处，北京 100083) 摘 要 ：本文搭建了一套光弹调制差分反射分析系统。这套试验系统不仅可 以用于常规方 法很难测量或很难精确测量的薄膜 的光学性质和介电性质的研究，还可用来分析薄膜或埋 藏界面的应力状态和各 向异性特征 以及任何气体环境下薄膜生长的原位动力学监测 。且测 量精度比传统测量精度大大提高。已将其成功用于薄膜光学性能和磁光测量中。在系统被 成功用于科研的基础上 ，开发了 “用偏振光调制技术测量薄膜光学常数”的学生实验。将这一 最新的学术研究成果引用到了学生的实验中，使学生们能利用所学到的基本知识解决科学 研究中的学术问题 ，实现了科研成果向教学内容的转化。 关键词 ：光弹调制；差分反射；薄膜 ；光学性质；Or电性质 中图分类号：TH741 文献标识码 ：A 文章编号：1002—4956(2003)06—0098—05 1 引言 调制技术在现代检测中起着相当重要的作用 ，许多传统的测量手段加入调制技术后 ， 其精度有了突破性的提高。光弹调制分析系统就是基于这一思想建立起来的。其基本原 理是在传统的光学测量中加入调制技术，使系统通过对薄膜反射信号强度和位相或偏振 状态的精确测量，来获得薄膜的光学性质和介电性质。 光的偏振性质是光的基本性质之一。偏振光学的研究始于 1669年 ErasmusBartholi- nus发现方解石的折射现象。1852年 ，Stokes发现光的任何一种偏振态都可 以用 4个可 观测量 、即Stokes参量来表示 ]。这个参量不仅能用于完全偏振光，而且还能用于部分 偏振光和非偏振光。通过测量材料光反射信号的Stokes参量，可 以获得材料的光学性质 和介 电性质。 传统的测量 Stokes参量的方法有零强度法、转动偏振片法 、转动样品法以及转动圆偏 振片法等。但这些方法的共同缺点是测量精度低 ，无法满足现代检测的需要。利用最新 的光弹调制技术则可使其测量精度提高2—3个数量级 。 目前 ，我们设计、搭建的光弹调制差分反射分析系统不仅可以用于常规方法很难测量 或很难精确测量的薄膜的光学性质和介电性质的研究，还可用来分析薄膜或埋藏界面的 应力状态和各向异性特征以及任何气体环境下薄膜生长的原位动力学监测 ，且测量精度 比传统测量精度大大提高。 收稿 日期 ：2003-03-26 作者简介 ：王凤平 (1962一)，女，博士，教授 ． 维普资讯 光弹调制差分反射分析系统的建立与应用 当本系统在科研中成功应用后 ，为将当前最新的学术研究成果引用到学生的实验中， 我们又开发了 “用偏振光调制技术测量薄膜光学常数”学生实验 ，使学生们能利用所学到 的基本知识解决科学研究中的学术问题 ，实现了科研成果向教学内容的转化。 2 实验原理 我们知道，若通过一对正交的偏振片观察一光源，视场将是一片黑暗(消光)。但如 果在两者间插入一片玻离或其它各向同性的透明材料，则材料的应变将破坏这种消光，视 场会出现明暗花样 ，花样的样式显示出应变的轮廓。这就是所谓的光弹效应。光弹调制 器就是利用这一效应制成的 J。 光弹调制器 (PEM)是用来在固定频率下调制或改变一束光偏振状态的仪器。其操 作原理是建立在光弹效应的基础上的，亦即：受到机械应力作用的材料表现出双折射现 象 ，双折射的程度正比于所产生的应变。PEM 为一共振元件 ，在某一 固定频率下产生一 振荡双折射。一般共振频率在低频超声范围(20kHz一100kHz)。 在一单轴应变的材料中，如某一方向上产生应变 (如 X轴)，使折射系统 n。与 n，不 同，则会引起 x,y方向偏振光传播速度的差别，因此将在X、Y方向光束之间产生光程差 ：