基于衍射光栅计量系统的非接触轮廓测量位移传感器.pdfVIP

2011正 仪 表 技 术 与 传 感 器 2011 第 10期 Instrument Technique and Sensor No．10 基于衍射光栅计量系统的非接触轮廓测量位移传感器 黎 新，陈育荣，王生怀 (湖北汽车工业学院机械工程系，湖北十堰 442002) 摘要：聚集检测法是一种非接触轮廓测量方法，但是现有的聚焦检测法采用音圈电机 ，其测量精度有限。针对此问 题，文中提 出了一种非接触位移传感器，该传感器基于改进的傅科聚焦检测法，并带有衍射光栅计量系统。通过压电驱动 器取代音圈电机驱动，并配合位移计量系统，提高了传感器的测量精度。在表面轮廓采样时，根据聚焦偏差信号，压电驱 动器驱动聚焦透镜作垂直运动，使焦点始终在工件表面，同时衍射光栅计量系统测得聚焦透镜的垂直位移并将其作为采 样点的轮廓高度。所有采样点的位移显示出被测量表面的整个轮廓，评定软件处理这些位移数据即可获得测量结果。该 非接触的位移传感器的分辨率为 10am． 关键词：聚焦检测法；位移传感器；衍射光栅计量系统；压电驱动器；轮廓测量 中图分类号：TP212；TN405 文献标识码：A 文章编号 ：1002—1841(2ol1)10—0001—03 Non—contactDisplacementSensorwithDiffractionGrating M etrologySystem forProfileM easurement LIXin，CHEN Yu—rong，WANG Sheng-huai (MechanicalDepartment，HubeiAutomotiveIndustriesInstitute，Shiyan442002，China) Abstract：Focusdetectionmethodisoneofthenon—contactprofilemeasurementmethods．However，themeasurementaccuracy ofcurrentfocusdetectionmethodislimitedbyvoicecoilmotoradoptedbyit．Thispaperpresentedanewnon—contactdisplacement sensorwithdiffractiongratingmetrologysystem basedonallimprovedFoucauhfocusdetectionmethod．Drivenbyapiezoelectric actuatorinsteadofavoicecoilmotor，andadiffractiongratingmetrologysystem beingwithit，thesensorhashighmeasurementae- curacy．Duringsurfaceprofilesampling，accordingtofocusingdeviationsignal，thefocusinglensisdriventomoveverticallybythe piezoelectricactuatorSOthatitsfocusisalwayslocatedontheworkpiecesurface；synchronouslytheverticaldisplacementofthefo— cusinglensisobtainedbythediffractiongratingmetrologysystem astheprofileheightofsamplingpoints．Thedisplacementsofall samplingpointsshow thewholeprofileofthemeasuredsurface，whichcanbeprocessedbycharacterizationsoftwa