基于光子晶体分光的气敏传感器研究.pdfVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援缘 渊圆园员员冤摇 园缘源圆员缘 基于光子晶体分光的气敏传感器研究 孔延梅 摇 高超群摇 景玉鹏摇 陈大鹏覮 渊中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心袁微电子器件与集成技术重点实验室袁北京摇 员园园园圆怨冤 渊圆园员园年苑月愿 日收到曰圆园员园年愿月员苑 日收到修改稿冤 摇 摇 本文利用微机电系统技术实现气敏传感器的主要思想袁设计了基于超棱镜效应的光子晶体分光系统袁它能够 实现高精度的分光袁使得光谱仪的分辨率有很大程度的提高袁并且为应用于许多光学系统的新型分光元件的研究 提供新的思路和基础援 关键词院气敏传感器袁光子晶体袁超棱镜袁负折射 孕粤悦杂院源圆援苑怨援云皂袁源圆援远缘援匀憎 渊枣蚤灶蚤贼藻凿蚤枣枣藻则藻灶糟藻贼蚤皂藻鄄凿燥皂葬蚤灶袁云阅栽阅冤法设计了元件 员郾 引 言 的结构袁并进一步计算了其透过率援经分析可知袁设 计结构完全满足光谱技术的需要袁其体积小尧精度 光谱技术是化学分析的终极手段援将光谱分析 高袁可作为微型气敏传感器的高精度元件使用袁为 技术与微机电系统渊皂蚤糟则燥鄄藻造藻糟贼则燥皂藻糟澡葬灶蚤糟葬造泽赠泽贼藻皂泽袁 光谱技术的进步提供了新的思路和技术援 酝耘酝杂冤技术相结合是解决当前气敏传感器灵敏度 低尧选择性差尧体积大尧功耗高尧不便于阵列化和高 圆郾 气敏传感器原理和结构 度集成袁以至于无梯度立体矢量探测能力等问题的 有效手段咱员暂援利用气体对电磁辐射的选择性吸收来 摇 摇 该传感器是基于红外吸收原理的气敏传感器袁 实现目标气体的检测和分析袁这将从根本上解决现 它是由两个完全相同的光学系统组成的袁其中一个 有气敏传感器误报率高和选择性低等致命问题援该 红外光入射到比较槽袁槽内密封着某种气体袁另一 技术的核心就是分光技术袁传统的分光器件有棱 个红外光入射到测量槽袁槽内连通待测采样气体 镜尧光栅等元件袁近年来砸葬躁蚤糟杂造燥遭燥凿葬灶和运燥灶早等人 室援两个光学系统的光源是可调谐激光器经由光纤 提出的集成热电光谱传感器和一体化光栅光谱传 束辕 波导导入袁红外连续光谱经过 酝耘酝杂 光学系统 感器咱圆袁猿暂 袁但由于波导和凹面光栅的加工难度袁其制 分光后袁光谱在空间展开袁使得红外探测器阵列的 作成本很高袁另外袁由于采用热电方式进行探测袁此 不同像素点接收到的红外光的波长是特定的袁读出 传感器的灵敏度和响应速率会受到限制援 目前国内 电路输出红外探测器阵列各像素点相应的光生电 外在光谱式 酝耘酝杂气敏传感器方面的研究还有待 信号袁就可以绘制出酝耘酝杂红外辐射源的红外辐射 深入援 光谱曰当光路中有待测气体存在时袁待测气体分子 运燥泽葬噪葬对光子晶体渊责澡燥贼燥灶蚤糟糟则赠泽贼葬造袁孕悦冤和传 吸收特定波长的红外光袁此时与该特定波长相对应 统晶体的分光能力做了比较咱源暂 袁孕悦展示了其惊人的 的像素点接收到的光子数减小袁光生电信号减弱袁 分光能力袁即超棱镜效应援在光谱式 酝耘酝杂气敏传 因此袁通过读出电路输出像素点相应的光生电信号 感器结构中引入 孕悦 作分光系统袁将使连续光谱获 的变化袁可以实现气体分子定性和定量的检测援图员 得在空间上更宽范围的展开袁从而提高气体检测的 简单给出了原理图援气敏传感器的光源采用可调谐 灵敏度和精度援本文主要研究基于 孕悦 超棱镜效应 激光器来实现光的输出袁光源经带有透镜的光纤将 的分光系统袁在其原理的基础上袁结合平面波展开