基于激光热应力法的薄膜蠕变性能评估方法.pdfVIP

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2017-09-09 发布于重庆
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年月农业机械学报第卷第期２００７３３８３  基于激光热应力法的薄膜蠕变性能评估方法 李粤张永康摘要采用单脉冲激光在薄膜表面进行局部加载对薄膜在受热区域冷热接合部及与基体连接界面产生【】，、的热应力热应变及应力松弛进行理论分析研究薄膜的蠕变机制和非弹性变形的热力学响应分析结果表明薄、，。，膜受高温及冷却退火作用都会产生应力松弛冷却退火还会形成拉应力薄膜裂纹由拉应力过大引起薄膜的蠕变；，，性能是薄膜断裂前的热力学行为由应力的性质和大小决定用激光热应力法可以实现对薄膜性能的评估，，。关键词薄膜蠕变裂纹应力：中图分类号：１４文献标识码：ＴＧＡ ﹦┋━┊┉┄┃┄﹤┇┅﹥┄┇│┉┄┃┇┄┅┇┉┎┎┉┈┇ ┇│━┉┇┈┈┉┄ １，２２ＬｉＹｕｅＺｈａｎｇＹｏｎｇｋａｎｇ（１ ２ ）爳牗牣牠牎爞牎牏牕牃爺牕牏牤牉牜牞牏牠牪牗牊爴牜牗牘牏牅牃牓爛牋牜牏牅牣牓牠牣牜牉爥牏牃牕牋牞牣爺牕牏牤牉牜牞牏牠牪 ﹢┈┉┇┉ ，，Ｓｉｎｇｌｅｐｕｌｓｅｄｌａｓｅｒｗａｓｕｓｅｄｔｏｓｈｏｃｋｔｈｅｌｏｃａｌｓｕｒｆａｃｅｏｆａｆｉｌｍｔｈｅｔｈｅｒｍａｌｓｔｒｅｓｓｔｈｅｒｍａｌ，，ｓｔｒａｉｎａｎｄｓｔｒｅｓｓｒｅｌａｘａｔｉｏｎｐｒｏｄｕｃｅｄｉｎｔｈｅｈｅａｔｅｄａｒｅａｃｏｏｌｉｎｇａｎｄｈｅａｔｉｎｇｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎａｓｗｅｌｌ  ａｓｔｈｅｂｏｎｄｉｎｔｅｒｆａｃｅｏｆｔｈｅｆｉｌｍｓｕｂｓｔｒａｔｅｉｎｔｅｒｆａｃｅｗｅｒｅｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌｌｙａｎａｌｙｚｅｄａｎｄｔｈｅ  ｔｈｅｒｍｏｄｙｎａｍｉｃｒｅｓｐｏｎｓｅｏｆｃｒｅｅｐｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｍｅｃｈａｎｉｓｍｓａｎｄｎｏｎｅｌａｓｔｉｃｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｗｅｒｅ．ｓｔｕｄｉｅｄＴｈｅｒｅｓｕｌｔｓｉｎｄｉｃａｔｅｔｈａｔｔｈｅｆｉｌｍｗｉｌｌｐｒｏｄｕｃｅｓｔｒｅｓｓｒｅｌａｘａｔｉｏｎｕｎｄｅｒｈｉｇｈｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ，