源匀鄄杂蚤悦中基面位错发光特性研究鄢.pdfVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援猿 渊圆园员员冤摇 园猿苑愿园愿 源匀鄄杂蚤悦 中基面位错发光特性研究鄢 苗瑞霞 摇 张玉明摇 汤晓燕摇 张义门覮 渊西安电子科技大学微电子学院袁宽禁带半导体材料与器件重点实验室袁西安摇 苑员园园苑员冤 渊圆园员园年缘月圆苑 日收到曰圆园员园年远月员愿 日收到修改稿冤 摇 摇 本文利用阴极荧光渊悦蕴冤和选择性刻蚀的方法对源匀鄄杂蚤悦 同质外延材料中基面位错的发光特性进行了研究援 结 果表明螺型基面位错渊月 冤和混合型基面位错渊月 冤分别具有绿光和蓝绿光特性袁其发光峰分别在缘猿园灶皂 附近和 栽杂阅 酝阅 源愿园灶皂 附近援 从测试结果中还发现月 的发光位较月 有所蓝移袁分析认为月 位错芯附近原子沿伯格斯矢量方 酝阅 栽杂阅 栽杂阅 向只受到拉应力袁致使禁带宽度变窄袁而月酝阅 同时具有螺型位错的分量