钙钛矿型材料气敏性质研究.pdfVIP

摘要 随着社会生产力的发展及广大人们生活水平的提高，气敏传感器得到了越来 越广泛的应用，半导体电阻式气敏传感器是目前应用最广泛的传感器之一。随着 对半导体氧化物气敏材料的深入研究，多元复合氧化物气敏材料渐渐引起了人们 的关注，成为目前的研究热点。 本课题采用采用共沉淀法制备了多元复合氧化物的前驱体，再通过两段高温 5Mn04，Lao7(Cao53Sr0．47Mn)o3，Lao33Ca067MnO 焙烧合成得到了分子式为La0．5Srl Lao sSr0．5CoO等钙钛矿氧化物，的复合氧化物，XKD图谱证明该复合氧化物为 单相结构，产物中没有杂相出现，SEM和粒度分析表明合成的材料粒度均一， 成讵态分布。该工艺结合了溶胶一凝胶法和固相法的优点，工艺简单，易于产业 化。 将焙烧后的材料通过PLD方法制备成气敏薄膜元件进行气敏测试。研究结 果表明：LaC003和Lao5Sro5C003材料对氢气、乙醇具有良好的灵敏度，但是对 于甲烷几乎没有表现出气敏性。这两种薄膜样品对H2的灵敏度随温度上升而增 大，这种趋势在200℃以上时进一步加剧。且Lao5Sro5C003对氢气的灵敏度比 LaC003高。LaC003和Lao5Sro．sC003薄膜样品对乙醇的灵敏度度随温度上升并 在200C时达到一个最大值，随后开始振荡下降。随着乙醇气体浓度的增大，气 敏元件的阻值迅速增加，从乙醇气体转移到空气中时电阻值降得也越多，气敏性 也越大。 尽管La。．9SrolC003样品对氢气、乙醇的初始气敏度比LaC003高．随着储存 时间的延长，LaC003对氢气的灵敏度基本不变，而Lao5Sro．5C003样品的灵敏度 则大幅下降至LaC003材料之下，表明未掺杂样品具有更好的结构稳定性。原因 ＆r以锶替代镧后，不可避免地形成了氧缺位。氧缺位的形成，使得晶格氧从内 部向表面扩散，从而补充反应掉的表面吸附氧成为．可能，随着晶格氧的扩散，钙 钛矿结构遭到～定的破坏，导电的三维网络结构中断，材料的电阻值进一步提高， 因此虽然掺杂材料的气敏灵敏度比未掺杂的高，但是稳定性较差。 气敏性不明显。 关键词：气敏性，钙钛矿结构，La】-xSrxC003，脉冲激光沉积 Abstract the of andthe With developmentsociety of improvementpeople’Sliving havebeenusedmoreandmore conditions，gas—sensors kindofmost used oxideshave sensorisone widelygassensors．Muff-components gas been asone materialsusedin sensors． thoughtofpromising gas in was PrecursorWas methodthis it byCO—precipitation paper,then synthesized heatedtwo SO technologyLa0．5S“sMn04，Lao7(Ca053Sro47Mn)0,3， by stage be Lao can PaRemshave thatthese