超精密二维测量定位系统评定及误差分析.pdfVIP

2013矩 仪 表 技 术 与 传 感 器 2013 第6期 Instrument Technique and Sensor No．6 超精密二维测量定位系统评定及误差分析 沈，J、燕，林杰俊，李加福，尹建龙，李东升 (中国计量学院计量测试工程学院，浙江杭州 310018) 摘要 ：超精密测量定位是实现现代超精密加工的重要环节。以宏微结合式的超精密二维定位平台为基础，组建了基 于光谱共焦位移传感器的超精密二维测量定位系统，介绍了该系统的组成与功能实现方法。利用高等级量块对系统进行 二维校准，再将该系统应用于二维尺寸的测量，分析了测量误差，并进行了测量不确定度的评定，试验获得该测量系统 、 y方向的测量不确定度分别为89nm和87nm．研究表明该超精密二维测量定位系统初步达到了纳米级测量效果。 关键词 ：超精密二维测量；光谱共焦传感器；误差分析 ；不确定度评定 中图分类号：TH89 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2013)06—0131—04 EvaluationandErrorAnalysisofUltra-precision Two—dimensionalM easuringandPositioningSystem SHENXiao—yah，LINJie-jun，LIJia·fu，YINJian-long，LIDong—sheng (CoHegeofMetrologyandMeasurementEngineering，ChinaJiliangUniversity，Hangzhou310018，China) Abstract：Theultra-precisionmeasuringandpositioningisanimportantpartoftheultra-precisionmachining．Basedonthe macro—microultra-precisiontwo—dimensionalpositioningplaftorm ，thispaperbuiltna ultra-precisiontwo—dimensionalmeasuringna d positioningsystem withaconfocalchromaticdisplacementsensor，andintroduceditscompositionandfunction．Inexperiments，the high-gradegaugeblockwasusedtOcalibratethesystem．andthesystem wasemployedtomeasurethetwo—dimensionalsize．After naalyzingthemeasurementerror，thepaperevaluatedthemeasurementuncertaintyofthesystem，andgottheresultofthemeasure- mentuncertaintyinX—directionandY-directionWas separately89nm and87nm．Thestudyshowsthattheultra-precisiontwo—di— mensionalmeasuringandpositioningsystem reachesapreliminarynano—measuringeffect． Keywords：ultra—precisionmeasuringandpositioning；confocalchromaticdisplacementsensor；erroranalysis；evaluationofuncer- tainty 0 引言 器为测头的二维超精密测量定位装置。 在几何量测量领域中，超精密测