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薄膜热导率测试方法研究进展/ 张建生等 ·103 ·
薄膜热导率测试方法研究进展
张建生 ,杨君友 ,朱 文 , 肖承京 ,张 辉 ,彭江英
(华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室 ,武汉 430074)
摘要 薄膜材料的热导率一般与其相应的块体材料有较大的差异 。由于其厚度较小 ,对块体材料热导率的测
试方法一般不适用于薄膜材料 ,因此近几十年来 ,研究工作者们发明了很多新的用于薄膜热导率的测试方法 。综述
了薄膜热导率的一些常用测试方法 ,着重介绍了薄膜热导率的最新测试方法的特点及其适用范围 ,并针对广泛使用
的 3ω法进行了详细介绍 。
关键词 薄膜 热导率 测试方法 3ω法
Research Advances in the Measurement f or the Thermal
Conductivity of Thin Sol id Fil ms
Z HAN G J ian sheng , YAN G J unyou , Z HU Wen , XIA O Chengj ing ,
Z HAN G Hui , P EN G J ian gying
( St at e Key L aboratory of Mat erial Processing and Die Mould Technolo gy , Huazhong U niver sit y
of Science and Technolo gy , Wuhan 430074)
Abstract The t hermal conductivit y of t hin solid films i s different f rom t heir bulk mat erial ′s. Becau se of t heir
very small size in t hickness , t he measurement met hods for bulk mat erial s are not suit able for t hin film mat erial s. Many
new met ho ds have been develop ed to measure t he t hermal conductivit y of t he t hin film s in recent decades. In t hi s p a
p er , t he measurement met hods for t hin film t hermal conductivit y are reviewed , t he charact eri stics and application area
of t he lat est measurement are p resent ed ,and t he 3omega met ho d , which i s widely u sed in t he mea surement of t he t hin
solid film s , i s int ro duced in det ail .
Key words t hin solid film s , t hermal conductivit y , measurement , 3omega met hod
( ) [ 5 ,6 ]
对于微纳米材料 、微电子微机电系统 M
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