甲基丙烯酸酯光刻胶制备及在滤光膜中应用.pdf

摘要 彩色滤光片是液晶显示器重要组成部件，发展液晶显示器(LCD)产业，彩色滤光片技术 是必须掌握的关键技术．彩色滤光片的技术重点又在于红、绿、蓝颜料光阻的研制和涂布工 艺的研发。 本论文首先采用甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸和甲基丙烯酰氯三种单体进行三元共聚， 然后滴加烯丙醇与酰氯反应制得侧链上含有双键的甲基丙烯酸甲酯／甲基丙烯酸／甲基丙 烯酸烯丙酯三元感光共聚物。探讨了引发剂浓度、聚合温度、单体配比，对聚合反应的影响， 并且对聚合物的分子量、酸值和玻璃化温度进行了检测。结果表明，在引发剂浓度l％，温 度70℃，甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸和甲基丙烯酰氯的单体配比为6：1：2的条件下． 制得的甲基丙烯酸酯光刻胶具有较高的感光速度、优良的操作宽度及抗蚀性能。 本论文通过溶解性、分光特性、感光度等方面对光刻胶中光引发剂种类和浓度进行了选 择，并通过涂膜的平整性、有无针孔等性质对溶剂类型进行了选择，利用测定感光度、粘附 性、分辨率等手段对光刻胶中的成膜树脂浓度进行探讨。配制了符合使用要求的甲基丙烯酸 酯光刻胶。结果表明，在光刻胶中光引发剂、成膜树脂与溶剂的最佳配比为1：5；35。 另外，对光刻工艺中的基片处理、前烘、曝光、显影、坚膜等工艺进行研究。得到了光 刻最佳工