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第 40 卷 第 2 期 红 外 与 激 光 工 程 2011 年 2 月 Vol.40 No.2 Infrared and Laser Engineering Feb. 2011 偏振干涉法测量 晶体应力双 折射精 度分析 肖昊苏 1 ，张运 强 2 ，范 志 刚 1 ，李福 巍 2 ，潘 国庆 2 （1. 哈尔滨 工 业 大 学 空间光学工程研究中心 ，黑龙江 哈尔滨 150001 ； 2. 中国空空导 弹研究院 ，河 南 洛 阳 471009 ） 摘 要 ： 为实现 晶体 材料 应 力双 折 射精 确 测量 ，提 出 了一 种 以偏 振 干 涉 法 为基 础 的 测量 方法 ，采 用楔 形样 品避免 了样 品厚 度 可 能 引起 的 测量错 误 。 利用 椭 圆偏 振 光理 论 和 琼斯 矩 阵 ，推 导 了检 偏 器旋 转 定 位 精 度 、 四 分 之 一 波 片相 位 偏 差 和 待 测样 品 方 位 角误 差 对 测量结果——— 最 小可探 测 光程 差 所 引入误 差 的 解析 表达式 。 误 差 分析 结果表 明 ：检 偏 器旋 转 定位 精 度 引入的光程 差测量误 差 最 大 ，检 偏 器 旋 转 定 位 精 度为 10′时 ，引入的光程 差测量误 差为 3.1 nm ； 待 测 样 品 方位 角误 差 引入的 光 程 差 测 量 误 差 居 中 ，待 测样 品 的 方位 角误 差为 1° 时 ，引入的光程 差 测量误 差为 0.7 nm ；四 分 之 一 波 片相 位 偏 差 引 入 的 光程 差测量误 差 最 小 ，四 分 之 一 波 片 的相 位 偏 差为 1.5° 时 ，引入的光程 差测量误 差仅 为 0.1 nm 。 关键词 ： 测量 ； 应 力双 折 射 ； 偏 振 干 涉法 ； 精 度 分析 中图分类号 ： TN216 文献标志码 ： A 文章编号 ：1007-2276(2011)02-0271-06 Precision analysis of polarization interference method for measuring stress birefringence of crystal 1 2 1 2 2 Xiao Haosu , Zhang Yunqiang , Fan Zhigang , Li Fuwei , Pan Guoqing (1. Research Center of Space Optical Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China; 2. China Airborne Missile Academy, Luoyang 471009, China) Abstract: A method based on polarization interference method was proposed to precisely measure