自制隧道显微镜探针尖的比较研究.pdf

第 33 卷 第 6 期 大 连 大 学 学 报 Vol.33 No.6 2012 年 12 月 JOURNAL OF DALIAN UNIVERSITY Dec. 2012 自制扫描隧道显微镜探针尖的比较研究 王晓秋*，苏 杰 （大连大学物理科学与技术学院，辽宁 大连 116622 ） 摘 要：探针对扫描隧道显微镜成像起至关重要的作用。本文分别对电化学腐蚀法自制的钨丝探针和剪切法 制得的铂铱探针进行扫描光栅图像比较分析。结果表明，相比铂铱探针，钨丝探针虽然制备繁琐，反应条件 不易控制，但是尖锐轴对称形的钨丝探针扫描样品形貌更加细微，用作扫描隧道显微镜探针时扫描成像质量 高。该研究为扫描隧道显微镜探针的选用提供了依据。 关键词：扫描隧道显微镜；电化学腐蚀；探针；光栅 中图分类号：TH742 文献标识码：A 文章编号：1008-2395(2012)06-0001-04 n 收稿日期：2012-09-26 c 作者简介：王晓秋（1961- ），女，博士，教授，研究方向：纳米光子学；苏杰（1988- ），男，硕士研究生， . 研究方向：光电材料及纳米光子学。 m o 扫 描 隧 道 显 微 镜 （ Scanning Tunneling 目前常见的探针制作方法有机械成型法、电化学 Microscope ，简称 STM ）基于量子隧道效应，克 腐蚀法、电子束沉积法、离子束铣削法、场致蒸 c . [5] 服了电子显微镜难以对物质表面进行揭示的不 发法等 ，常用针尖材料为钨丝、铂铱丝及金丝。 足，能够实时、实地对物质表面进行检测并表征 钨丝价廉质坚，通常采用电化学腐蚀法制备探针 m [6,7] 物质表面的物化特征，具有分辨率高，使用环境 尖 ，铂铱探针一般用剪切法制备更为普遍。 宽松，应用领域宽，价格相对便宜的特点。因此， 本文利用电化学腐蚀法和剪切法分别制备 p STM 在物理学、表面科学、材料科学、微机械加 STM 钨丝探针和铂铱丝探针，对两种探针的制备 s 工、纳米科学及生命科学技术等方面获得了广泛 及扫描图像进行了比较研究。 . 应用[1-3] 。探针作为 STM 的探测元件，直接影响 STM 扫描图像的质量，因此，探针的选用对 STM w 1 探针制备 扫描成像至关重要。 w 1.1 腐蚀法制备钨针尖 探针针尖的尺寸、形状及化学成分不仅影响 实验采用直流电化学腐蚀法制备 0.25 mm 钨 STM 图像的分辨率及图像细节，也影响材质表面 w 丝探针，如图 1 （a ）所示，无水酒精擦拭过的直 的电子态密度