电容式微加速度计结构的建模及仿真.pdfVIP

电容式微加速度计结构的建模及仿真.pdf

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7 4 Vol.7, No.4 1999 8 OPT ICS AND PRECISION ENGINEERING August, 1999 1004924X( 1999) 04 0059 06 周 华 沈连官 尤 辉 李川奇 ( 中国科技大学精密机械与精密仪器系 合肥230027) , , , , O242. 21 A 1 , , , , , , , , IDEAS , , 2 GuYan 2. 1 , , , : 1998 12 16 : 1999 04 20 7 60 , : , , : 2 d u d u [ M] 2 + [ C] + [ K] {u} = {R} ( 1) dt dt [ K] , [ M] , [ C] , {u}, {R} N , N k , {R} = [0] , [ C] = [0] , , {u} = {u }sint ( k = 1, 2, , N ) ( 2) k k 2 ( 2) ( 1) , : [ [ K] [ M] ] { u } = 0 k k 2 k [ K] W k [ M] = 0 ( k = 1, 2, , N ) k , k , ( 2) , k , { u } k , ( 1) k k k 2.2 GuYan GuYan GuYan , {u}{u } {u }, {u } m s s {um }, , {um }, {us}, {us}{um }: {us } = [T] {u } ( 3) m [ I] : {u}= {um }= [ G] { um } (4) [T]

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