考虑应变梯度影响的静电驱动MEMS微结构尺寸效应研究.pdfVIP

考虑应变梯度影响的静电驱动MEMS 微结构尺寸效应研究1) b,c a, 2), a,b c,d 王炳雷 ,周慎杰 ,赵俊峰 ,陈曦 a b （山东大学机械学院，济南，250061 ）（ 山东大学土建学院，济南，250061 ） c d （哥伦比亚大学环境工程系，纽约,10027）（ 西安交通大学航空航天学院，西安，710049 ） 摘要：大量微结构实验表明，当结构的特征尺寸在微米或亚微米量级时其相应的力学特性表现出强烈的尺寸效应。本 文基于应变梯度弹性理论和能量原理分别推导并建立了静电驱动MEMS微结构的一维新梁模型和二维新板模型。采用广义微 分求积法和拟弧长算法对高阶非线性的控制方程进行了数值求解。结果表明，随着结构尺寸的降低，两种新模型所预测的归 一化的吸合电压呈非线性增长，表现出尺寸效应；而相应的经典理论模型并不能预测此尺寸效应。两种新模型可视为相应经 MEMS 典理论模型的推广。本文的研究可为微结构的设计提供精确理论基础，并在微机械系统 （ ）设计开发方面有潜在的应 用价值。 关键词：微机械系统；吸合电压；尺寸效应；应变梯度弹性理论 引言 随着科技的发展，静电驱动微机电系统 （Microelectromechanicalsystems：MEMS）在民用和军事领 [1] 域都得到了快速发展和广泛应用 。而且，随着制造技术的不断发展，其结构设计日益趋向多样化和微小 [2] 化 。 多微结构实验表明，当微结构的尺寸从宏观尺寸降到微米或亚微米量级后，结构的力学及其它特性就 [3, 4] 会表现出明显的尺寸效应现象，这时经典连续介质力学理论无法解释的，这种现象在金属材料 、复合 [5] [6, 7] [8] Lam [6] 材料 、高聚物材料 以及半导体用的硅类材料 中都得到了证实。例如， 等 在环氧树脂微梁的弯 115μm 25μm 2.3 [8] 曲实验中发现，当梁的厚度从 下降到 时，其抗弯刚度提高了约 倍；Chasiotis和Knauss 研 究多孔多晶硅MEMS时发现了失效应力的尺寸效应：当孔的半径从16微米降到1微米时，名义平均失效应力 非线性增加，然而根据经典连续理论，此量应是常数。过去二十几年，在经典的连续介质理论基础上，通 过引入内禀材料常数，学者们发展了很多微观模型来预测和研究微结构的尺寸效应[6, 9, 10]。其中，引入应 [6] 变梯度概念的模型得到了广泛关注。在含有应变梯度的理论中，Lam等 提出的应变梯度弹性理论在预测结 构的尺寸效应方面非常成功。此理论不仅考虑了旋转梯度张量的对称分量，还考虑了膨胀梯度张量和拉伸 [11] 梯度张量的偏斜分量，相对于Yang等 的修正的偶应力理论只包